北京
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“刻蚀工艺的监测方法、参数确定方法、装置及电子设备”的专利，公开号CN122373772A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造工艺技术领域，公开了一种刻蚀工艺的监测方法、参数确定方法、装置及电子设备，方法包括：获取当前采集周期下刻蚀区域的当前三维点云数据；根据当前三维点云数据，确定当前刻蚀深度和当前侧壁角度，当前刻蚀深度为刻蚀区域中各个刻蚀沟槽对应的刻蚀深度的集合；根据当前刻蚀深度和与多个连续的历史采集周期一一对应的多个历史刻蚀深度，确定深度变化率，深度变化率为刻蚀深度随时间的变化率；根据当前侧壁角度和与多个连续的历史采集周期一一对应的多个历史侧壁角度，确定侧壁角度是否处于稳定状态；根据深度变化率和侧壁角度是否处于稳定状态，确定是否到达刻蚀终点。本发明能够在复杂刻蚀条件下精确判定终点，减少误报。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本319.4745万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息121条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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