国家知识产权局信息显示,浙江摩鼎纳米科技有限公司取得一项名为“弧光离子源增强磁控溅射装置”的专利,授权公告号CN224467899U,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本实用新型涉及磁控溅射装置技术领域,并公开了弧光离子源增强磁控溅射装置,包括:镀膜箱;磁块,设置在镀膜箱的内底面;靶材,设置在磁块的上方,用于提供离子清洗和沉积薄膜的材料;连接件,共同固定连接在磁块和靶材之间,所述连接件包括背板盒和盖板;冷却组件,设置在背板盒的内部,用于带走靶材轰击过程中产生的热量。本方案采用冷却管一与冷却管二交错布置并相向流动的方式,使热量在两管间相互传递,显著降低了背板两侧温差,提高了冷却均匀性和散热效率,同时,冷却管采用卡扣式可调固定结构,便于安装与维护,提升了系统的灵活性和可操作性,整体设计能够减少热应力变形,提升薄膜沉积的一致性和设备运行的可靠性。
天眼查资料显示,浙江摩鼎纳米科技有限公司,成立于2006年,位于杭州市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江摩鼎纳米科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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