北京
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“测温光学窗口的污染处理方法、系统及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122330135A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本申请提供了一种测温光学窗口的污染处理方法、系统及半导体工艺设备，涉及半导体检测技术领域，本申请分别获取测温主光路数据、辅助光路数据和工艺运行数据，根据测温主光路数据确定主光路估计结果，复用原有测温主光路实现窗口沉积状态的在线初步识别；根据辅助光路数据补充表征测温光学窗口的实际透过性能，提高沉积程度判断的可靠性；在满足预设反演条件时进行多参数蒙特卡洛反演，在复杂沉积或常规判断不确定时获得更准确的沉积厚度和沉积光学参数；最后进行多源综合处理确定测温光学窗口的沉积状态信息，并根据沉积状态信息和工艺阶段信息确定污染处理策略，降低单一数据源误判风险，保证测温准确性的同时减少清洗行为对外延工艺的干扰。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本319.4745万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息119条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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