北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“衬底加热器及使用其的衬底处理设备”的专利，公开号CN122314734A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，提出了衬底加热器结构及使用其的衬底处理设备。根据一个实施例，加热器结构包括：加热器板，其配置为支撑放置在加热器板上的衬底，加热器板包括配置为加热加热器板和衬底的加热材料；轴，其设置在加热器板下方并且配置成支撑加热器板，轴包括圆柱形轴壁；多个射频(RF)杆，其设置在圆柱形轴壁的内部并且配置成将RF功率传输到加热器板；多个加热器棒，其设置在圆柱形轴壁的内部并且配置成将电能传输到加热器板中的加热材料以加热加热材料，其中多个RF杆和多个加热器棒彼此不接触。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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