北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“具有多孔升降销的反应器系统”的专利，公开号CN122303846A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，一种反应器系统可以包括反应室；和/或设置在反应室中在反应室的上室和下室之间的基座。基座可包括衬底支撑表面；和/或流体连接上室和下室的流体路径，其穿过基座和衬底支撑表面设置。下室可以包括大于上室的上室压力的下室压力，使得流体从下室流动通过流体路径进入上室。基座可进一步包含穿过基座设置的销孔，并且升降销可设置在销孔中。升降销可包括多孔材料和/或销通道，销通道包括流体路径，使得流体流过升降销。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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