北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“沉积含金属材料的方法”的专利，公开号CN122303847A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本公开涉及用于在衬底上沉积第四族至第六族过渡金属的循环沉积工艺的方法和组件。该方法包括在反应器腔室中提供衬底，引入气相的作为金属前体的金属有机化合物和气相的路易斯酸反应物以与金属前体反应，从而在衬底上形成过渡金属的材料。该方法可以包括引入气相的共反应物。本公开还涉及用于执行根据本公开的方法的半导体处理组件。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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