6月22日,东京应化、JSR、信越化学、富士电子材料四大日本光刻胶企业同步采取限制举措:全面暂停接收高端光刻胶新订单,中端产品供货配额削减超六成,同时悉数撤回派驻各地的现场技术工程师。
此番操作并非临时发难。早在2025年11月日本政府发布相关出口管控条例后,高端光刻胶供给就已实质上中断,6月22日只是将长期存在的断供现状落实为正式执行方案。
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过去大半年,国内半导体生产线在缺失日系高端光刻胶的条件下持续稳定生产,各大工厂均维持正常运营。日方本想借此扼住我国半导体发展命脉,却未曾料到,针对这类材料的自主研发布局,我国早已持续深耕七年之久。
日企同步官宣,断供冲击被提前消化
6月22日当天,四家日本企业的新规同时生效:不再接受任何高端光刻胶的新订单,中端产品的出口配额被削减超过六成,此前派驻在中国晶圆厂的日方技术工程师也一并撤回。
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一时间,外界出现“釜底抽薪”“锁喉打击”等紧张预判,担心国内大量晶圆产线会因核心材料中断而停摆。
但产业端的实际反应要平静得多。日本政府早在2025年11月就已发布针对光刻胶的严格出口管制法令,此后高端光刻胶的对华供应事实上就处于中断状态。
国内半导体企业从彼时起便无法采购日本高端产品,生产早已在无该供应的情况下运行了半年有余。
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6月22日的企业官宣更像是一种迟到的程序确认,把已经执行多时的管制措施落到纸面上,其边际冲击极为有限。
从海关数据看,国内对日本光刻胶的依赖度在过去一年间急剧下降。2025年第一季度,中国从日本进口光刻胶总量尚有2200吨;到了2026年第一季度,这一数字骤降至111.3吨,同比收缩约95%。
更具体的月度报关数据显示,2026年1月进口量为69.2吨,2月已几乎为零,而从1月到5月,高端光刻胶的报关量连续五个月为零。
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进口的极少量余量主要集中在部分中低端产品上,且同样在快速萎缩。
这组数据说明,日本此番高调的断供操作,对中国半导体制造大盘的运转已不构成实质性威胁。
过去大半年里,国内主要晶圆产线在失去日本高端光刻胶供应的情况下,产能释放和良率控制依旧平稳,并未出现此前外界所担忧的大面积断线或减产。
七年梯度攻坚,各层级光刻胶陆续补齐
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产业链能够平稳承压,不是临时应对的结果,而是源自持续七年的有计划替代。
触发节点是2019年的日韩贸易摩擦。当时,日本利用自身在光刻胶等半导体材料领域的垄断优势,对韩国实施出口限制,导致多家韩国晶圆企业生产受阻。
中国半导体产业界和决策层由此迅速拉响预警,并在当年正式启动光刻胶全品类国产化的系统布局。
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七年来,光刻胶替代遵循从易到难的路径,逐层突破。最先实现完全自主的是成熟制程所用的G线和I线光刻胶,主要用于常规功率器件、传感器和部分成熟制程芯片的制造,对国内整体产能的基础支撑最为直接。
截至目前,这两类光刻胶的国产化率已超过95%,基本做到了自给自足,完全摆脱了对日本及其他海外厂商的依赖。
中端领域的KrF光刻胶,适配28纳米及以上的主流制程,也在过去几年间取得爆发式增长。
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彤程新材旗下的北京科华已成为该领域国内最大的供应商,整体市场占有率已突破40%。国产KrF产品的工艺稳定性和量产能力趋于成熟。
以长江存储的产线为例,国产KrF光刻胶的批量生产良率可达98.7%,能满足规模化制造的需求。
按照目前的替代节奏,2026年全年国内KrF光刻胶的自给率有望逼近五成,日本企业的对应份额被明显分流。
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最能代表这轮替代高度的,是ArF光刻胶的实质性突破。ArF光刻胶是7纳米至28纳米先进制程的关键耗材,用于高端逻辑和存储芯片生产,长期属于最严密封锁的材料品种之一。
南大光电率先在28纳米ArF光刻胶上实现规模量产,成为国内第一家达到该水平的企业,产品良率达到99.7%,并已通过中芯国际、华为海思等产线的验证,进入正式供货阶段。
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彤程新材、上海新阳、鼎龙股份等公司也在相近时间完成了ArF光刻胶的技术验证并接到批量订单,国产高端光刻胶的梯队已经成形,不再只是实验室样品。
配套与政策并行,全链条脱钩准备到位
光刻胶的替代并非仅仅止步于胶体本身。过去,除了核心配方依赖进口,连存放光刻胶的专用高纯玻璃瓶等配套辅材也长期被外部供应商垄断。
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如果辅材断供,同样会威胁生产连续性。国内科研团队针对这一短板持续攻关,在2026年初突破了光刻胶专用玻璃瓶的生产工艺,将最后一块配套短板补齐。
至此,从光刻胶本体到关键辅材,全环节已基本实现自主供应,消除了因单项配套受限而被再度牵制的风险。
政策层面的同步应对也在进行。2026年1月7日,商务部宣布对原产于日本的二氯二氢硅发起反倾销调查。
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二氯二氢硅是生产光刻胶的关键上游原材料之一,日本厂商在该领域同样占有较大优势。
启动调查能够对冲日方通过上游原料收紧对国产光刻胶企业施压的意图,为国内刚刚放量的光刻胶规模化生产提供一个相对公平的市场环境。
综合来看,从2019年预警启动,到2026年应对集体断供,七年时间里国内围绕光刻胶的布局没有采取集中冲刺的短跑模式,而是依照半导体材料产业规律,分阶段完成技术研发、产线验证和产能爬坡。
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成熟制程G线、I线光刻胶先形成稳固基础,KrF光刻胶紧随其后挤占中端市场空间,ArF光刻胶在先进制程领域完成破局。
与此同步,辅材、原料和贸易救济措施构成了外部保护层,使得整个光刻胶供应链实现了从单点突破到全链可控的跨越。
此次四家日企同步官宣断供,实际扮演了一次压力测试。面对全面切断的供应和技术支持,国内晶圆产线并未发生当初一些预测所描绘的停摆景象。
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相反,海关数据和厂商排产计划都指向一个事实:日本的光刻胶断供已经打不中要害。
中国半导体光刻胶产业,在经历七年由下至上、逐级替代的系统推进后,已基本走出进口依赖期,转到以国内供应为主体的新阶段。
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