北京
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国家知识产权局信息显示，启迪原子私人有限公司申请一项名为“从单个发生器向多个负载传输脉冲射频功率的系统及方法”的专利，公开号CN122293064A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种从单个发生器向多个负载传输脉冲射频功率的系统及方法。该系统采用SPMT开关，控制器可实时动态选择负载，使其接收单个或一组脉冲。每个脉冲的RF功率、频率和持续时间均可配置，能够向等离子体源线圈、分区静电吸盘或多个反应室等组件精准、灵活地分配功率。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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