浙江
6月23日，记者在山东产业技术研究院采访了解到，由济南市艾恩半导体科技有限公司自主研发的硅基中束流离子注入机顺利交付国内头部芯片制造企业。从成功突破“卡脖子”关键核心技术到实现产业化，济南企业在助力国家半导体装备自主化的道路上，不断用硬核科技为中国“芯”梦想保驾护航。
艾恩半导体相关负责人告诉记者，在芯片制造过程中，离子注入是仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件最基本、最核心的电学性能。可以说，没有离子注入机，就没有当下的第三代半导体产业。“作为芯片制造的‘心脏装备’，离子注入机贯穿从掺杂到性能调控的每一道核心工艺，其技术水平直接影响集成电路的性能上限与制程先进性。”这位负责人说。
离子注入机国产替代需求强，集成难度大，零部件有3万多件。据了解，艾恩半导体自研的产品中，零部件国产化率达到95%以上，其中核心零部件更是自主研发。这不仅解决了离子注入机的“卡脖子”难题，更大大降低了采购成本。
记者了解到，此次交付的硅基中束流离子注入机，依托自主核心技术，主要面向硅基集成电路与硅基MEMS产线，兼顾超高掺杂精度与批量加工效率，能够有效帮助晶圆厂商降低研发成本、优化生产工艺，提升产品良率，加速技术迭代，尤其适用于MEMS传感器量产线、企业工艺中试线、高校微纳研发平台等场景。
离子注入机与光刻机、刻蚀机和镀膜机一起并称“芯片制造的四大关键装备”。2024年中国离子注入机市场规模已达121.26亿元，国产化率却不足10%。艾恩半导体的设备价格能做到进口同类装备的50%左右，为客户大幅降低资本开支。而在技术上，企业已在长寿命离子源技术上达到国内先进水平，正在研发的第二代碳化硅离子注入机将实现对标国际巨头的性能突破。
“当初选择将公司总部从广州迁到济南，正是看中了这里正在崛起的集成电路产业生态。”今年3月，艾恩半导体董事长钟新华接受采访时表示，艾恩半导体希望扮演好产业链的“补链者”、上下游的“连接器”。“对于未来，我们有一个愿景：让世界看到，高端离子注入机不仅能够‘中国造’，更能够‘山东造’。公司将扎根济南，与上下游伙伴一道，把山东的第三代半导体产业链做强做大，为我国半导体设备自主可控贡献一份力量。”
2024年底，艾恩半导体总部落户位于济南高新区的山东产业技术研究院高科技创新园，成为山东省内首家离子注入设备企业。山东产研院充分发挥创新资源整合与平台化服务优势，从场地保障到产业生态构建，为艾恩半导体扎根济南提供了系统性支撑。依托山东产研院高科技创新园，艾恩半导体建成了3000平方米洁净车间与现代化研发办公区。未来，山东产研院与艾恩半导体将聚焦第三代半导体产业创新发展，联合攻关前沿核心技术，深化产教融合协同培养高端产业人才，共同推动第三代半导体技术突破与产业升级，助力我国半导体产业高质量发展。
来源：济南日报·爱济南记者 曹雷
编辑： 狄海洲
审核：张铮
责任编辑：汤启卫
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