中科飞测申请成像装置相关专利，创新运动方式获取360度数据，降占地提利用率

来源：新浪证券-红岸工作室

6月24日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种成像装置及成像方法”的专利。申请公布号为CN122238387A，申请号为CN202610351971.3，申请公布日期为2026年6月19日，申请日期为2026年3月20日，发明人李炎、王旭、马砚忠、陈鲁，专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司，专利代理师闫淑贤，分类号G01N23/046、G01N23/083。

专利摘要显示，本申请公开了一种成像装置及成像方法，成像装置包括X射线源、探测器、样品运动系统和探测器运动系统，通过样品运动系统驱动样品在绕X射线主光轴进行第一公转后执行自转，并在自转后沿相反方向进行第二公转的运动方式，使得在第一公转与第二公转的总公转角度均小于360度的情况下，即可获取等效于完整360度成像的数据，此外，通过探测器运动系统驱动探测器与样品进行同步公转，并在公转时保持三点共线且与X射线主光轴成预设夹角，保持成像的几何关系稳定不变，从而在不降低成像放大倍率及成像角度覆盖范围的前提下，缩短探测器的运动轨迹，降低成像装置在使用过程中的占地面积，提高设备空间利用率。

中科飞测成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为广东省深圳市。它是国内领先的集成电路检测设备供应商，核心业务为集成电路检测和量测设备，具备技术和产品服务优势。

中科飞测主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，属于半导体设备、半导体产业、集成电路概念板块。

2025年，中科飞测营业收入20.53亿元，在25家同行业公司中排名第11，与行业第一名北方华创393.53亿元、第二名中微公司123.85亿元差距较大，低于行业平均数41.44亿元，高于行业中位数14.26亿元。其主营业务中，检测设备收入13.64亿元，占比66.43%；量测设备收入6.23亿元，占比30.36%；其他（补充）5335.18万元，占比2.60%；软件1262.64万元，占比0.61%。净利润方面，2025年为5865.26万元，行业排名19/25，远低于第一名北方华创54.09亿元、第二名中微公司20.64亿元，低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种标准片及掩膜版发明专利公布CN202610653251.22026-05-13CN122267035A2026-06-23吕肃、蒋路翔、陈鲁2一种图像对位方法、装置及存储介质发明专利公布CN202610637168.62026-05-11CN122223079A2026-06-16张鹏斌、韩欣、潘浩、齐鑫、陈鲁3一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610541586.52026-04-23CN122120580A2026-05-29尉佩、马砚忠、陈鲁4缓存装置、检测设备及检测工艺发明专利授权CN202610378049.32026-03-26CN121941304B2026-06-19马砚忠、余涛、王见、陈鲁5波场计算方法和装置、散射图像获取方法及可读存储介质发明专利公布CN202610361993.82026-03-23CN122259619A2026-06-23温朗枫、马砚忠、张兴民、陈鲁6一种成像装置及成像方法发明专利公布CN202610351971.32026-03-20CN122238387A2026-06-19李炎、王旭、马砚忠、陈鲁7量测设备及其控制方法发明专利公布CN202610347630.92026-03-20CN122258790A2026-06-23袁明波、王见、马砚忠、陈鲁8量测设备及其控制方法发明专利公布CN202610347632.82026-03-20CN122258791A2026-06-23陈鲁、袁明波、马砚忠、王见9扫描电子显微镜工作距离的校准方法、扫描电子显微系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203146.92026-02-11CN122108011A2026-05-29邵双方、吕肃、陈鲁10结构参数反演方法、测量设备及计算机可读存储介质发明专利公布CN202610203714.52026-02-11CN122170767A2026-06-09李炎、周中正、温朗枫、马砚忠、陈鲁11一种膜厚虚拟量测方法、模型训练方法及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610121250.32026-01-28CN122153281A2026-06-05任泽林、田旷达、庄旭、张嵩、陈鲁12一种根因定位方法、根因定位系统及存储介质发明专利公布CN202610120891.72026-01-28CN122220959A2026-06-16田旷达、杨思晓、张嵩、陈鲁13开关防护装置及X射线检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610097307.02026-01-23CN122050905A2026-05-15李炎、邢立娜、马砚忠、陈鲁14成像系统以及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610094342.72026-01-23CN122131550A2026-06-02姚本溪、郝柏尊、吕肃、陈鲁15成像方法以及成像系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610098261.42026-01-23CN122131551A2026-06-02吕肃、姚本溪、郝柏尊、陈鲁16扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置发明专利公布CN202610043765.62026-01-13CN121839511A2026-04-10吕肃、许涛、陈鲁17一种图像测量系统发明专利公布CN202512060296.72025-12-31CN121837239A2026-04-10刘健鹏、黎广言、张鹏斌、陈鲁18一种图像角度确定方法及图像角度确定装置、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060747.72025-12-31CN121861000A2026-04-14王启坤、黎广言、张鹏斌、陈鲁19一种光声测量过程中的刀口校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512058972.72025-12-31CN121917461A2026-04-24马砚忠、戴鹭楠、陈鲁20椭偏测量的修正方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060067.52025-12-31CN121996924A2026-05-08马砚忠、高浩哲、陈鲁21一种聚焦偏移标定方法、系统以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512036837.22025-12-30CN121720376A2026-03-24吕肃、商橙、陈鲁22膜层测量装置和膜层测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512044490.62025-12-29CN121720986A2026-03-24孙韬、马砚忠、白园园、陈鲁23旋转补偿器及光学测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202512016763.62025-12-29CN121806272A2026-04-07马砚忠、石海林、陈鲁24一种晶圆字符串检测方法及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023232.X2025-12-29CN121903982A2026-04-21董坤玲、杨亭、张鹏斌、陈鲁25膜层测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511985534.92025-12-25CN121855402A2026-04-14陈鲁、马砚忠、孙韬、郑麦杰26一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利授权CN202511960845.X2025-12-24CN121384814B2026-03-31赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁27一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610143618.62025-12-24CN121918317A2026-04-24陈鲁、黄有为、张龙28一种待测点的位置确定方法及光学检测系统、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511958659.22025-12-23CN121746485A2026-03-27胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁29半导体量测系统和X射线束定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511951765.82025-12-22CN121855427A2026-04-14马砚忠、陈鲁、李炎、白园园、崔建华30一种数据处理方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511930385.62025-12-19CN121708098A2026-03-20陈鲁、黄有为、张龙、陈忠奎、邹丽君、徐雨哲、孙守强31一种AI推理方法、推理系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511925037.X2025-12-18CN121902972A2026-04-21贺金龙、陈基荣、陈鲁32基于深度学习可自动聚焦和像散校正的成像参数校正方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511930080.52025-12-18CN121921188A2026-04-24汪进鸿、吕肃、陈鲁33一种样品运动平台及其控制方法、检测设备发明专利公布CN202511889595.52025-12-12CN121828580A2026-04-10庞芝亮、吕肃、陈鲁34一种坐标校准方法及相关产品发明专利公布CN202511821139.72025-12-04CN121639798A2026-03-10徐雨哲、张龙、黄有为、陈鲁35电子显微镜及其对中偏差校正方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511821888.X2025-12-04CN121748246A2026-03-27朱中道、张志强、吕肃、陈鲁36探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511818006.42025-12-02CN121721070A2026-03-24吕肃、陈子林、陈鲁37探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511807531.62025-12-02CN121721069A2026-03-24陈子林、吕肃、陈鲁38一种芯片标记检测系统及芯片标记检测方法发明专利公布CN202511788740.02025-11-28CN121558754A2026-02-24洪艮超、黄剑、张鹏斌、陈鲁39一种晶圆对准方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511788744.92025-11-28CN121586435A2026-02-27刘欢敏、黄强威、莫云杰、吕肃、陈鲁40一种产品的缺陷检测方法、缺陷检测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511789271.42025-11-28CN121903928A2026-04-21陈基荣、胡荣镇、贺金龙、陈鲁41膜层测量方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511724629.52025-11-21CN121476072A2026-02-06白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁42一种误差补偿修正方法及光学量测设备发明专利公布CN202511685493.12025-11-17CN121677548A2026-03-17胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁43一种面轮廓度的检测方法、检测设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511658951.22025-11-12CN121521012A2026-02-13姜菲菲、阎鹏飞、钟骏汶、贺金龙、陈鲁44一种光阑及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511646379.82025-11-10CN121348474A2026-01-16李灵佳、吕肃、陈鲁45电子束着陆角度的修正方法、半导体量测系统和存储介质发明专利公布CN202511642473.62025-11-10CN121557922A2026-02-24陈鲁、邵双方、吕肃46一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法发明专利授权CN202511599209.92025-11-04CN121049293B2026-02-24陈鲁、张鹏斌、梁文军、盛浩、杨楠、刘健鹏47一种光学系统及方法发明专利公布CN202610091649.12025-11-04CN121678702A2026-03-17陈鲁、张鹏斌、刘健鹏48一种暗场检测装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511597517.82025-11-03CN121298738A2026-01-09洪艮超、黄剑、张鹏斌、陈鲁49一种光学测量方法以及光学成像系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511590953.22025-10-31CN121207037A2025-12-26姚本溪、吕肃、陈鲁50一种套刻标记定位方法及套刻测量设备发明专利公布CN202511591802.92025-10-31CN121559815A2026-02-24吕肃、刘欢敏、吕帅、陈鲁