北京
国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种离子注入机金属污染溯源方法和装置”的专利，公开号CN122238466A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本申请公开一种离子注入机金属污染溯源方法和装置，方法包括以下步骤：确定离子注入机内从源区至晶圆靶盘方向布置的多个法拉第模块，为法拉第模块中的至少两个匹配对应的束流污染检测载体；获取束流污染检测载体装机前的待检金属元素的原始含量本底数据；将各束流污染检测载体对应安装至所属的法拉第模块，按照束流传输顺序，依次控制各束流污染检测载体接收离子束流；获取各束流污染检测载体的待检金属元素拆取后含量数据；针对每一种待检金属元素，将各位置束流污染检测载体的拆取后含量数据与对应的原始含量本底数据作差，得到金属元素污染增量；对目标金属元素的污染增量进行全流程变化趋势对比，确定该目标金属元素的污染引入区段。
天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目85次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息180条，此外企业还拥有行政许可25个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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