京仪装备申请晶圆缓存设备相关专利，提升晶圆缓存设备防碰撞准确性和可靠性

来源：新浪证券-红岸工作室

6月3日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“晶圆缓存设备及其防撞控制方法和晶圆生产线”的专利。申请公布号为CN122138655A，申请号为CN202610075841.1，申请公布日期为2026年6月2日，申请日期为2026年1月20日，发明人吕维迪、孙敬雷、梁小影，专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司，专利代理师苏贤伟，分类号H10P72/30、B25J9/16、H10P72/00、H10P72/76。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆缓存设备、晶圆生产线和晶圆缓存设备的防撞控制方法，晶圆缓存设备包括：机械手，机械手的一端具有夹爪组件，夹爪组件用于抓取或释放晶圆盒的配合部；第一距离检测件，设于机械手，并位于机械手靠近夹爪组件的一端，用于检测机械手与配合部之间的距离；控制系统，与机械手和第一距离检测件中的任一者电连接，控制系统能够根据第一距离检测件的检测结果控制机械手的运行状态，即将测量基准与机械手的运动基准统一，从而能够直接并精确地获取机械手与晶圆盒的配合部之间的动态相对距离，提升防碰撞的准确性和可靠性。

京仪装备成立于2016年6月30日，于2023年11月29日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为北京市。该公司是国内半导体专用设备领域的重要企业，专注半导体设备研发生产，产品具有技术优势。

京仪装备所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，处于专精特新、半导体设备、半导体产业概念板块。公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主营产品有半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备和晶圆传片设备。

2025年，京仪装备实现营业收入14.26亿元，在25家同行业公司中排名第13，行业第一名北方华创为393.53亿元，第二名中微公司为123.85亿元，行业平均数为41.44亿元，中位数为14.26亿元。其主营业务构成中，半导体专用温控设备收入9.37亿元，占比65.70%。净利润方面，2025年为1.48亿元，行业排名14/25，第一名北方华创54.09亿元，第二名中微公司20.64亿元，行业平均数6.09亿元，中位数1.77亿元。

北京京仪自动化装备技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种EUV工艺废气处理装置及方法发明专利公布CN202610570921.42026-04-28CN122107405A2026-05-29宁腾飞、席涛涛、张京华、杨春涛、王帅、于浩辉、杜佳亮、闫潇、周光飞、赵明杰、王贤麟、张坤、杨春水、丁树园2一种EUV工艺废气处理装置及方法发明专利公布CN202610570920.X2026-04-28CN122107404A2026-05-29宁腾飞、许信、张京华、王帅、杜佳亮、于浩辉、于贺杰、闫潇、赵明杰、周光飞、王贤麟、张坤、杨春水3一种半导体废气处理系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610235623.X2026-02-27CN121927390A2026-04-28于贺杰、席涛涛、杨春涛、宁腾飞、蔡传涛、杨琪、张坤4一种爪式转子结构发明专利实质审查的生效、公布CN202610225271.X2026-02-25CN121932378A2026-04-28王继飞5一种爪式转子结构发明专利实质审查的生效、公布CN202610225270.52026-02-25CN121952869A2026-05-01王继飞6一种废气处理设备进气装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610173060.62026-02-06CN121782583A2026-04-03张京华、宁腾飞、张坤、杨春水7一种晶圆映射机构及晶圆存储系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610167198.52026-02-05CN121985765A2026-05-05李宁宁8电子膨胀阀驱动装置和制冷设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610137006.62026-01-30CN122015350A2026-05-12陈杰9晶圆缓存设备及其防撞控制方法和晶圆生产线发明专利公布CN202610075841.12026-01-20CN122138655A2026-06-02吕维迪、孙敬雷、梁小影10一种晶圆真空吸附机械手发明专利实质审查的生效、公布CN202610066231.52026-01-19CN121888921A2026-04-17李宁宁11重复定位精度的检测设备及检测方法发明专利公布CN202610062878.02026-01-16CN122094467A2026-05-26孙晓东12一种机械手奇异点控制方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610011983.12026-01-06CN121515214A2026-02-13梁小影、吕维迪13一种晶圆存储盒及使用方法发明专利公布CN202610006507.02026-01-05CN121815997A2026-04-07赵佳强、赵雷、张朝阳、韩立昌14一种基于多通道阵列的温度控制方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610002110.42026-01-04CN121857866A2026-04-14杨子臣、丁金龙、周亮15半导体温控系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610002223.42026-01-04CN121855115A2026-04-14何滔16真空机械手指的测试装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610002083.02026-01-04CN121877300A2026-04-17李宁宁17工业设备的通信方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610002138.82026-01-04CN122053715A2026-05-15石尚、丁金龙、徐鑫伟、陈杰、董红臣18用于真空泵吹扫的气体检测装置及气体检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610002245.02026-01-04CN122041960A2026-05-15刘飞腾、丁金龙、杨子臣、陈富强19一种位置示教装置及示教方法发明专利公布CN202610002279.X2026-01-04CN122069979A2026-05-19杜子豪、杨森元20一种废气处理设备的压力控制方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511901562.82025-12-16CN121764223A2026-03-31张昱翀、高智雪、于贺杰、宗国泰、刘昭雲、谷存帅21一种交错并联Buck变换器的均流控制系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511819611.32025-12-04CN121585005A2026-02-27石尚、丁金龙、徐鑫伟、陈杰、廖博轩22半导体工业废气处理方法及系统发明专利授权CN202511785798.X2025-12-01CN121222235B2026-03-03于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞、杨琪23基于等离子活化水的NO发明专利授权CN202511785801.82025-12-01CN121222249B2026-03-27于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞24基于预测的半导体工艺温度控制方法、装置及电子设备发明专利公布CN202511772484.62025-11-28CN121680516A2026-03-17薛山、于浩、周亮、张浩25无接触式气悬浮超薄晶圆翻片装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511772490.12025-11-28CN121772666A2026-03-31侯宝江26水箱组件、废气处理设备及废气处理控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511732628.52025-11-24CN121371852A2026-01-23杨春涛、席涛涛、乔伟超、张坤、杨春水27半导体温控设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511729217.02025-11-24CN121742553A2026-03-27张浩28晶圆物料盒和晶圆物料盒支撑架发明专利公布CN202511723355.82025-11-21CN121665992A2026-03-13张朝阳、赵雷、李宁宁29一种晶圆储料器发明专利授权CN202511705951.32025-11-20CN121171945B2026-03-06吕忠伟、孙敬雷30一种晶圆储料装置发明专利公布CN202511710701.92025-11-20CN121626582A2026-03-10赵雷31一种废气处理设备的监控方法、系统、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511683863.82025-11-17CN121411371A2026-01-27王潇、徐鑫伟、丁金龙、杨子臣32晶圆倒片机的校点装置及方法、电子设备、存储介质和计算机程序产品发明专利公布CN202511677080.92025-11-14CN121693064A2026-03-17韩九阳33一种快速控温方法、温控系统、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511657775.02025-11-12CN121143540A2025-12-16芮守祯、于浩、孙硕、李卓昆、董春辉、曹小康、何茂栋34一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关发明专利授权CN202511641334.12025-11-11CN121098666B2026-03-27徐鑫伟、陈富强、丁金龙、陈杰35用于温控设备的分流调节设备及方法、温控设备及半导体制程系统发明专利公布CN202511635697.42025-11-10CN121680514A2026-03-17张浩36一种差分信号的模数转换电路及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511592163.82025-11-03CN121770522A2026-03-31廖博轩、丁金龙、石尚37半导体废气燃烧产物的处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511519273.12025-10-23CN121720106A2026-03-24李阳、丁树园38一种晶圆预校准器的自动定位机械圆心方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511515868.X2025-10-22CN121398522A2026-01-23廖博轩39电箱内部元器件的布局设计方法及系统、电子设备和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511461203.52025-10-13CN121598882A2026-03-03李轩、程玉雪、张昱翀、刘昭雲、李伟鹏、宗国泰、高智雪、谷存帅、雷浩、孟宪涛、刘宇超40一种废气处理设备的节能控制方法、控制装置及电子设备发明专利公布CN202511382532.02025-09-25CN121541511A2026-02-17杨春涛41温控系统及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511350221.62025-09-19CN121115926A2025-12-12郑璐、靳李富、孙硕、胡文达、刘紫阳、芮守祯、董春辉、何茂栋、曹小康42半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511348069.82025-09-19CN121143524A2025-12-16郑璐43温控系统及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511350225.42025-09-19CN121143525A2025-12-16郑璐、董春辉、胡文达、靳李富、刘紫阳、芮守祯、何茂栋、曹小康44半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511348070.02025-09-19CN121165834A2025-12-19郑璐45半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511348068.32025-09-19CN121254932A2026-01-02郑璐46温控设备、集成电路制程系统及控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511331933.32025-09-17CN121300521A2026-01-09靳李富、董春辉、刘紫阳、胡文达、郑璐、李云松、周强、徐兴、芮守祯、何茂栋、曹小康47一种基于液氮控温的半导体温控装置及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511291304.22025-09-10CN121096845A2025-12-09郑璐、顾晓虎、靳李富、胡文达、刘紫阳、芮守祯、曹小康、董春辉、何茂栋48一种基于半导体的温度控制方法、装置、电子设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511284131.12025-09-09CN121008621A2025-11-25雍明49一种双三通阀控制耦合吸收式制冷的半导体温控设备及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511280255.22025-09-09CN121297276A2026-01-09靳李富、郑璐、李云松、胡文达、刘紫阳、徐兴、周强、芮守祯、何茂栋、曹小康50一种耦合吸收式制冷的半导体温控设备及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511280258.62025-09-09CN121297277A2026-01-09靳李富、胡文达、周强、郑璐、刘紫阳、李云松、徐兴、芮守祯、何茂栋、曹小康