国家知识产权局信息显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“气浮旋转装置及外延生长设备”的专利,授权公告号CN224313720U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种气浮旋转装置及外延生长设备,气浮旋转装置包括用于放置衬底片的托盘、定位柱、基座及承载盘,基座开设有进气通道及连通于进气通道的出气孔,承载盘与基座通过定位柱连接,承载盘背对基座的一侧设置有托盘,承载盘朝向基座的一侧开设有斜面槽组,斜面槽组用于在气体经出气孔排出后使得承载盘悬浮和旋转;本实用新型通过在承载盘上开设斜面槽来作为旋转气道,相比于异形导流槽,斜面槽加工难度更小;同时通过承载盘与托盘分离设计,托盘无开槽结构,保证托盘的强度及平面度,有效避免托盘及其上衬垫片弯曲变形。
天眼查资料显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,成立于2007年,位于深圳市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本34829.2006万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司共对外投资了17家企业,参与招投标项目98次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息584条,此外企业还拥有行政许可95个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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