国家知识产权局信息显示,普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司申请一项名为“椭偏测量退偏误差修正方法、系统、装置和存储介质”的专利,公开号CN122108966A,申请日期为2026年2月。
专利摘要显示,本发明公开了一种椭偏测量退偏误差修正方法、系统、装置和存储介质,方法包括获取椭偏仪测量待测样品得到的原始测量数据,对原始测量数据进行预校正,得到预校正数据;对预校正数据进行建模,得到待测样品对应的光学模型;在光学模型任选一条入射光线,基于选取的入射光线和椭偏仪的系统NA值,计算出待测样品中表征NA退偏效应的有效椭偏穆勒矩阵;利用有效椭偏穆勒矩阵对预校正数据进行迭代修正,得到待测样品的目标修正数据。本发明仅利用光学模型中一条光线即可建立起由NA效应引起的有效穆勒矩阵的解析模型,能够在有效消除椭偏测量在微光斑模式下因光束聚焦所导致的退偏效应的基础上,大幅度减少计算量,显著提高修正效率。
天眼查资料显示,普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本616万人民币。通过天眼查大数据分析,普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目11次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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