国家知识产权局信息显示,诸暨晶氢新材料科技有限公司申请一项名为“一种半导体机台顶盖双环抗裂结构及设计方法”的专利,公开号CN122113476A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明涉及一种半导体机台顶盖双环抗裂结构及设计方法,包括外环,包括第一主体,以及固定设置于第一主体内侧面上的第一台阶部,第一台阶部设有凹槽;内环,包括第二主体,以及固定设置于第二主体外侧面上的第二台阶部,沿内环的轴向,第二台阶部设有凸块;第一台阶部与第二台阶部抵接,且凸块卡设于凹槽内;第一台阶部的内侧面与第二主体的外侧面间隔设置,第二台阶部的外侧面与第一主体间隔设置;凸块的侧面与凹槽的侧面均间隔设置。通过将顶盖分解为外环、内环,内环与第一台阶部抵接、外环与第二台阶部抵接,形成了分体式结构。该设计有效释放在结构中累积的应力,从而降低顶盖的开裂风险,保障工艺稳定性和产品良率。
天眼查资料显示,诸暨晶氢新材料科技有限公司,成立于2019年,位于绍兴市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,诸暨晶氢新材料科技有限公司专利信息1条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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