河北
来源：新浪基金∞工作室
5月22日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）收盘涨1.27%，成交额4.94亿元。
科创半导体设备ETF鹏华（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止5月21日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）最新份额为5.82亿份，最新规模为11.87亿元。回顾2025年12月31日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加138.40%，规模增加299.75%。
流动性方面，截止5月22日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）近20个交易日累计成交金额33.57亿元，日均成交金额1.68亿元。
科创半导体设备ETF鹏华（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益103.83%。
最新定期报告显示，科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股包括拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，持仓占比如下。
股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688072拓荆科技10.69%14.70万5439.63万688120华海清科10.60%30.99万5392.73万688012中微公司9.90%16.44万5037.81万688361中科飞测7.85%26.27万3994.99万688019安集科技7.29%14.79万3706.96万688126沪硅产业6.98%210.03万3549.57万688037芯源微6.64%20.17万3379.38万688200华峰测控6.13%11.86万3117.96万688234天岳先进4.33%26.90万2203.47万688409富创精密3.39%19.16万1726.40万
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