据THE ELEC 近日报道,韩国YC Chem首次向客户正式供应玻璃基板用i-line光刻胶(PR)、剥离液、显影液等核心材料,已获得采购订单(PO),并完成品质认证。
当前供应规模为试制品用量,预计自今年年末起,将随客户玻璃基板量产逐步扩大。此外,YC Chem已提供玻璃基板涂层剂试制品,用于嵌入式玻璃基板工艺,可缓解玻璃与铜间热膨胀差异导致的开裂与翘曲,该材料正处认证阶段。
YC Chem于2023年开发出3种玻璃基板材料,2024年启动量产认证,去年启动首批试供,现已进入订单供应阶段。公司正与3家以上企业洽谈合作,部分企业已开展负性光刻胶与涂层剂样品测试。
其i-line光刻胶(365纳米波长)聚焦厚膜厚度与高耐蚀刻性,满足玻璃通孔(TGV)及铜电镀工艺需求,长波长材料需求持续上升。Samyang ENC亦在开发相关材料,已供样2家以上客户,计划明年量产。
玻璃基板作为替代传统有机基板的下一代半导体基板,因精细电路、能效及翘曲改善优势,成为AI半导体封装关键技术,商业化进程正加速推进。
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