年产200台（套）高端半导体设备，西南湿法设备研产基地启用

5月18日，记者从成都经开区（龙泉驿区）获悉，成都经开产学研用科技创新基地——半导体核心生产装备和先进工艺创新平台正式落成。与此同时，西南湿法设备研产基地同步启用，补齐了西南地区半导体湿法工艺空白，也为成都经开区构建“汽车+电子信息”双轮驱动格局注入了强劲动能。

成都经开汽车科技园

作为该创新平台的核心依托项目，西南湿法设备研产基地由四川远为芯途半导体科技有限公司（简称“远为芯途”）投资建设。远为芯途于2024年作为重点引进项目落户成都经开区，依托江苏南通远景智能装备的产业基础，集研发、设计、制造、销售及服务于一体，构建起立足成都、辐射西南、面向全国的产业布局。

据了解，此次建成投运的西南湿法设备研产基地建筑面积近10000平方米，配备百级、千级、万级洁净车间，聚焦电镀、清洗、涂胶等湿法制程全流程，具备年产200台（套）高端半导体设备的生产能力。

下一步，远为芯途将继续加大研发投入、加快技术攻坚，深化“产学研用”闭环，与产业链上下游伙伴携手共进，助力半导体产业链的自主可控与安全稳定，推动成都经开区产业转型、抢占新质生产力赛道。

百雅婷 红星新闻记者 龚靖杰

编辑 李钰仪