国家知识产权局信息显示,源多可科技股份有限公司申请一项名为“包括偏移线圈的等离子体感应装置”的专利,公开号CN122055811A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,公开了一种用于感应等离子体的等离子体感应装置。特别地,等离子体感应装置可以包括:放电管,其为等离子体提供感应空间,并且具有用于注入气体的入口和气体通过其被处理和放电的出口;点火天线,其基于放电管的中心轴线在第一缠绕方向上电缠绕,并且用于点燃放电管中的等离子体;维持天线,其基于放电管的中心轴线在与第一缠绕方向相同的方向上电缠绕,被布置为与点火天线物理地间隔开,并且形成用于维持放电管中的等离子体的电场;第一抵消线圈,其基于虚拟中心轴线在第二缠绕方向上电缠绕;以及第二抵消线圈,其被布置为与第一抵消线圈物理地间隔开,并且基于虚拟中心轴线在与第二缠绕方向不同的方向上电缠绕。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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