北京
国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“湿法工艺腔体”的专利，公开号CN122028678A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种湿法工艺腔体。该湿法工艺腔体包括腔体主体、至少两个相互套设且可独立升降的工艺腔、排风总管、与各工艺腔一一对应的独立排风通道，以及阀门装置。所述阀门装置被配置为当任一工艺腔上升至工艺位置时，选择性地开启与该工艺腔连通的独立排风通道，并关闭其余的独立排风通道。本申请的技术方案通过对排风通道的独立控制，将排风负压精确集中于当前工作的工艺区域，从根本上解决了传统并联排风系统存在的抢风问题，显著提升了排风效率，并有效避免了不同工艺腔之间的废气倒灌与交叉污染，提高了工艺环境的洁净度和稳定性。
天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息188条，此外企业还拥有行政许可23个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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