中科飞测取得缺陷检测法相关专利，利用坐标转换模型快速定位缺陷并检测

来源：新浪证券-红岸工作室

5月12日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种缺陷检测方法及相关装置”的专利，授权公告号CN119757348B，授权公告日为2026年5月8日。申请公布号为CN119757348A，申请号为CN202311281629.3，申请公布日期为2026年5月8日，申请日期为2023年9月28日，发明人陈鲁、马砚忠、温朗枫、张嵩，专利代理机构深圳市深佳知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师万欣慰，分类号G01N21/88、G01N21/95、G06N3/0464、G06N3/0442、G06N3/045、G06N3/084。

专利摘要显示，本发明实施例提供了一种缺陷检测方法及相关装置，用于根据缺陷相对于第一参考坐标系的第一位置坐标，快速获取缺陷相对于第二参考坐标系的位置坐标。本发明实施例方法包括：获取检测对象中缺陷相对于第一参考坐标系的第一位置坐标，其中，第一参考坐标系设置于检测对象中；将缺陷的第一位置坐标，输入至坐标转换神经网络模型，以得到坐标转换神经网络模型输出的缺陷相对于第二参考坐标系的第二位置坐标，其中，第二参考坐标系设置于检测对象的承载装置中，坐标转换神经网络模型用于实现第一位置坐标到第二位置坐标的转换；根据缺陷的第二位置坐标，对缺陷进行检测。

中科飞测成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均位于广东省深圳市。它是国内领先的集成电路检测和量测设备供应商，技术先进，产品广泛应用于集成电路制造等领域。

中科飞测主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，属于高带宽存储器HBM、半导体设备等概念板块。

2025年，中科飞测营业收入20.53亿元，行业排名11/25，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，高于行业中位数14.26亿元，但低于行业平均数41.44亿元。主营业务中，检测设备营收13.64亿元，占比66.43%；量测设备营收6.23亿元，占比30.36%。净利润为5865.26万元，行业排名19/25，与第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元差距较大，低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置发明专利公布CN202610043765.62026-01-13CN121839511A2026-04-10吕肃、许涛、陈鲁2一种图像测量系统发明专利公布CN202512060296.72025-12-31CN121837239A2026-04-10刘健鹏、黎广言、张鹏斌、陈鲁3一种图像角度确定方法及图像角度确定装置、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060747.72025-12-31CN121861000A2026-04-14王启坤、黎广言、张鹏斌、陈鲁4一种光声测量过程中的刀口校准方法发明专利公布CN202512058972.72025-12-31CN121917461A2026-04-24马砚忠、戴鹭楠、陈鲁5椭偏测量的修正方法、设备及存储介质发明专利公布CN202512060067.52025-12-31CN121996924A2026-05-08马砚忠、高浩哲、陈鲁6一种聚焦偏移标定方法、系统以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512036837.22025-12-30CN121720376A2026-03-24吕肃、商橙、陈鲁7膜层测量装置和膜层测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512044490.62025-12-29CN121720986A2026-03-24孙韬、马砚忠、白园园、陈鲁8旋转补偿器及光学测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202512016763.62025-12-29CN121806272A2026-04-07马砚忠、石海林、陈鲁9一种晶圆字符串检测方法及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023232.X2025-12-29CN121903982A2026-04-21董坤玲、杨亭、张鹏斌、陈鲁10膜层测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511985534.92025-12-25CN121855402A2026-04-14陈鲁、马砚忠、孙韬、郑麦杰11一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利授权CN202511960845.X2025-12-24CN121384814B2026-03-31赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁12一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利公布CN202610143618.62025-12-24CN121918317A2026-04-24陈鲁、黄有为、张龙13一种待测点的位置确定方法及光学检测系统、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511958659.22025-12-23CN121746485A2026-03-27胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁14半导体量测系统和X射线束定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511951765.82025-12-22CN121855427A2026-04-14马砚忠、陈鲁、李炎、白园园、崔建华15一种数据处理方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511930385.62025-12-19CN121708098A2026-03-20陈鲁、黄有为、张龙、陈忠奎、邹丽君、徐雨哲、孙守强16一种AI推理方法、推理系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511925037.X2025-12-18CN121902972A2026-04-21贺金龙、陈基荣、陈鲁17基于深度学习可自动聚焦和像散校正的成像参数校正方法发明专利公布CN202511930080.52025-12-18CN121921188A2026-04-24汪进鸿、吕肃、陈鲁18一种样品运动平台及其控制方法、检测设备发明专利公布CN202511889595.52025-12-12CN121828580A2026-04-10庞芝亮、吕肃、陈鲁19一种坐标校准方法及相关产品发明专利公布CN202511821139.72025-12-04CN121639798A2026-03-10徐雨哲、张龙、黄有为、陈鲁20电子显微镜及其对中偏差校正方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511821888.X2025-12-04CN121748246A2026-03-27朱中道、张志强、吕肃、陈鲁21探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511818006.42025-12-02CN121721070A2026-03-24吕肃、陈子林、陈鲁22探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511807531.62025-12-02CN121721069A2026-03-24陈子林、吕肃、陈鲁23一种芯片标记检测系统及芯片标记检测方法发明专利公布CN202511788740.02025-11-28CN121558754A2026-02-24洪艮超、黄剑、张鹏斌、陈鲁24一种晶圆对准方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511788744.92025-11-28CN121586435A2026-02-27刘欢敏、黄强威、莫云杰、吕肃、陈鲁25一种产品的缺陷检测方法、缺陷检测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511789271.42025-11-28CN121903928A2026-04-21陈基荣、胡荣镇、贺金龙、陈鲁26膜层测量方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511724629.52025-11-21CN121476072A2026-02-06白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁27一种误差补偿修正方法及光学量测设备发明专利公布CN202511685493.12025-11-17CN121677548A2026-03-17胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁28一种面轮廓度的检测方法、检测设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511658951.22025-11-12CN121521012A2026-02-13姜菲菲、阎鹏飞、钟骏汶、贺金龙、陈鲁29一种光阑及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511646379.82025-11-10CN121348474A2026-01-16李灵佳、吕肃、陈鲁30电子束着陆角度的修正方法、半导体量测系统和存储介质发明专利公布CN202511642473.62025-11-10CN121557922A2026-02-24陈鲁、邵双方、吕肃31一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法发明专利授权CN202511599209.92025-11-04CN121049293B2026-02-24陈鲁、张鹏斌、梁文军、盛浩、杨楠、刘健鹏32一种光学系统及方法发明专利公布CN202610091649.12025-11-04CN121678702A2026-03-17陈鲁、张鹏斌、刘健鹏33一种暗场检测装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511597517.82025-11-03CN121298738A2026-01-09洪艮超、黄剑、张鹏斌、陈鲁34一种光学测量方法以及光学成像系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511590953.22025-10-31CN121207037A2025-12-26姚本溪、吕肃、陈鲁35一种套刻标记定位方法及套刻测量设备发明专利公布CN202511591802.92025-10-31CN121559815A2026-02-24吕肃、刘欢敏、吕帅、陈鲁36一种测量装置及增大翘曲测量范围的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511568161.52025-10-29CN121521009A2026-02-13陈鲁、尉佩、马砚忠37一种物镜调节方法及套刻测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511534872.02025-10-24CN121325356A2026-01-13吕肃、陈子赫、徐文琪、姚本溪、陈鲁38检测系统、检测系统的控制方法及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511508820.62025-10-21CN121475040A2026-02-06张越、张国星、马砚忠、陈鲁39采样点的确定方法、测量方法、测量系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511510933.X2025-10-21CN121476055A2026-02-06马砚忠、陈超、王南朔、何泊衢、陈鲁40一种光学检测装置和光学检测方法发明专利公布CN202511504329.62025-10-21CN121568562A2026-02-24陈鲁、张鹏斌、邓茜、黄剑、洪艮超41一种灯丝观测方法、装置及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511476742.62025-10-15CN121141713A2025-12-16吕肃、朱中道、陈鲁42干涉测量方法和干涉测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511464974.X2025-10-13CN121323472A2026-01-13郁健、尉佩、马砚忠、陈鲁43一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质发明专利授权CN202511445925.12025-10-11CN120912653B2026-03-31张鹏斌、王宗钊、李艳波、齐鑫、邵珠勇、胡诗铭、陈鲁44一种晶圆面型测量设备及测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511448141.42025-10-10CN121185218A2025-12-23陈鲁、马砚忠、袁明波、郁健45一种测量方法及测量设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511448155.62025-10-10CN121346690A2026-01-16陈鲁、马砚忠、袁明波、郁健46晶圆检测方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511445230.32025-10-09CN121275630A2026-01-06陈鲁、张龙、黄有为、刘英见、赵康俊、郭兆升47用于晶圆表面缺陷检测的成像装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511443885.72025-10-09CN121275629A2026-01-06白虎冰、刘英见、赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁48一种扫描电子显微镜系统及消磁调试方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511385039.42025-09-25CN121171860A2025-12-19吕肃、岳鹿野、陈鲁49一种扫描电子显微镜发明专利实质审查的生效、公布CN202511383765.22025-09-25CN121171859A2025-12-19岳鹿野、吕肃、陈鲁50集光系统及有图形待检测对象的光学缺陷检测系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511378347.42025-09-23CN121026972A2025-11-28陈鲁、黄有为、张龙

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