复旦博士组队创业！上海“小巨人”获数亿元融资

近日，高端仪器设备供应商费勉科技（上海）股份有限公司（以下简称“费勉科技”）完成数亿元C轮融资。本轮融资由复容投资、复旦科创、工业母机基金、元禾璞华、深创投等十余家国家级产业资本和知名机构共同参与。

公开信息显示，费勉科技创立于2012年，扎根上海市宝山区，是我国先进电子材料研发、制备与量测高端仪器设备领军企业，先后获评国家工信部专精特新“小巨人”企业、上海市高新技术企业、上海市专精特新企业等多项荣誉。

此次数亿元融资落地，意味着这家上海高端科学仪器企业，正在从科研院所实验室进一步走向半导体和先进材料产业现场。

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三位复旦物理博士

组队啃“硬骨头”

2004年，赵嘉峰与同窗欧宏炜一同直研复旦大学物理系，拜入当时正在复旦执教的封东来院士门下，由此结识了高自己一届的师兄谢斌平。三人兴趣相投，科研工作常在一起。

当时，国内物理实验室的高端设备高度依赖进口，因此即便是作为采购的甲方，和供应商沟通起来也非常憋屈。

一次，实验室里一台价值百万元的进口紫外光源灯坏了，他们找到瑞典厂商请求售后维修，对方却将问题归咎于“水、电、气不好”。咽不下这口气的赵嘉峰和师兄弟们花了6000元自己动手改造升级，从此设备再未出过问题。这件事也成为他们后来下定决心做国产高端仪器的重要起点。

不过，毕业后三人并没有急着创业，而是约定各自先去工作，积攒一笔启动资金。三年后，一间十来平方米的共享办公室，三位来自复旦大学凝聚态物理专业的博士，开启了创业之路。

在创业起步期，费勉科技主要是为各大实验室提供高端仪器设备。公司推出的第一款标准化商业产品，是多自由度低温样品架。这个部件看似不起眼，却是凝聚态物理研究中的关键基础部件。它需要在极低温条件下提供多自由度调节，过去长期由美国企业垄断，国内几乎没有替代方案。

团队花费数年找到了新型合金材料，设计出可提供多自由度调节、工作温度低于6K且液氦消耗量远低于同类产品的低温样品架。此后，团队又不断更新升级，这也成为公司打开市场的代表性产品之一。

产品走向全球顶尖实验室的速度，超出了很多人的预期。到2021年，费勉科技的产品已经进入北京大学、清华大学、复旦大学、中科院系统以及美国波士顿大学、康奈尔大学、韩国首尔国立大学等国内外顶尖高校和研究机构。

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四大技术底座

撑起先进材料“工具箱”

高端科学仪器的核心竞争力，并不在于某一款单一产品，而在于一套完整、自主可控的底层技术体系。围绕四大核心技术打造完整产品矩阵，正是费勉科技区别于许多同行的关键所在。

经过十余年持续深耕，费勉科技在超高真空、精密温度控制、薄膜制备和等离子技术四个核心领域建立了完全自主可控的底层技术能力，累计获得专利超过200项，是国内少数实现全链条自主可控的高端仪器设备企业。

这四项技术看似分散，实则精准对应先进电子材料从基础研究到工艺生产中的关键瓶颈。超高真空技术决定材料制备环境的纯净度，精密温度控制影响材料物性测试和生长过程，薄膜制备能力关系到半导体和光电子器件制造的核心工艺，而等离子技术则广泛用于表面处理、刻蚀和材料改性等场景。

四大技术底座之上，费勉科技已形成科学仪器、等离子技术、半导体薄膜、工业量测四条成熟产品线，构建起从实验室到规模化产线的完整产品矩阵。

在科学仪器产品线，费勉科技的超高真空互联系统、量子材料制备系统等，已服务于清华、北大、复旦、中科院等顶尖科研机构。

在等离子技术领域，公司自主研发的高亮度紫外光源、紫外光辐照测试系统、紫外光元件测试系统等产品，广泛应用于半导体量检测和研发测试等产业前沿领域。其中一款紫外光源更是成功替代了当年让团队“憋屈”的进口产品。

在半导体薄膜产品线，晶圆级MBE系统、超高真空解理镀膜系统等产品对标国际巨头，已批量交付国内头部半导体企业，在5G通讯、红外探测、激光雷达和量子计算等前沿领域发挥关键作用。

尤为值得关注的是工业量测产品线。费勉科技自主研发的XPS系统，使公司成为全球少数几家能提供晶圆级XPS量测解决方案的供应商之一。XPS是表面化学分析和薄膜材料量测的核心工具，在半导体工艺控制环节具有不可替代的战略价值，费勉科技在这一领域实现的关键突破，正在为国产半导体产业链提供重要的设备保障。

随着技术的不断突破，费勉科技已完成从科研到产业的完整闭环验证。科研端产品批量交付北大、清华、复旦等百余家顶尖机构，半导体设备已进入国内头部制造企业供应链并获得市场高度认可。

在资本端，费勉科技也获得了越来越多投资机构的持续认可。

公司2018年12月完成数千万元A轮融资，投资方为助力资本；2021年11月完成A+轮融资，华为旗下的哈勃投资入场；2022年完成B轮融资，投资方包括飞图创投、国科嘉和、深流资本等。

本次C轮融资的出资方中，又新增了复容投资、复旦科创、工业母机基金、元禾璞华、深创投等十余家国家级产业资本和知名机构。工业母机基金代表着国家对高端装备制造的全链条推动，元禾璞华与深创投均是半导体与硬科技领域的一线投资机构，而复旦科创则是从母校层面直接参与的产业资本。

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高端仪器国产替代

一场更长周期的突围

费勉科技所处的赛道，正站在国产替代和产业升级的交汇点上。

高端科学仪器是基础研究、半导体、新材料、生物医药、能源技术等领域的底层支撑工具，长期以来，高端市场由欧美日企业占据主导。近年来，随着出口管制趋严、国内科研投入增长以及半导体产业链自主可控需求提升，高端科学仪器的国产替代开始进入深水区。

从顶层设计来看，“十五五”规划建议明确提出，要完善新型举国体制，采取超常规措施，全链条推动集成电路、工业母机、高端仪器、基础软件、先进材料、生物制造等重点领域关键核心技术攻关取得决定性突破。

工业和信息化部也已明确，将加紧谋划“十五五”重点任务，加强基础研究积累和关键共性技术攻关，推进仪器仪表整机、零部件和元器件、软件和标准、材料与耗材等全链条突破。

这种从顶层到执行层的高度联动，为费勉科技的科学仪器与半导体装备业务提供了坚实的政策支撑。

本轮数亿元C轮融资，给费勉科技带来的不仅是资金，更是产业资源和战略耐心。据悉，资金将主要用于研发投入、专利布局、产能提升及市场拓展、组织建设等。

对于高端仪器企业而言，这类投入或许很难在短期内迅速转化为爆发式增长，却决定了企业能否真正从实验室样机走向批量化、标准化和全球化交付。

那些藏在实验室、晶圆厂和材料车间里的“冷门硬科技”，可能没有流量故事，却支撑着更长远的产业自主。对费勉科技而言，真正的考验也才刚刚开始。