北京
国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种具有成像系统的刻蚀设备和检测方法”的专利，公开号CN121983493A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请提供了一种具有成像系统的刻蚀设备和检测方法，涉及半导体刻蚀技术领域，该刻蚀设备包括：刻蚀结构、成像系统和校准结构，刻蚀结构包括基座、静电卡盘、聚焦环和盖环，成像结构位于盖环，用于获取聚焦环的轮廓图像，并基于聚焦环的轮廓图像获取聚焦环相对于静电卡盘的位置偏差，校准结构基于上述位置偏差移动聚焦环，以改变聚焦环的位置，进而可以消除上述位置偏差，确保聚焦环的位置准确性，以保证晶圆的刻蚀效果。并且，上述成像系统集成在盖环，因此该刻蚀设备能够在不破坏刻蚀腔体真空条件的基础上，实现聚焦环的位置偏差的检测，避免打开刻蚀腔室可能导致的一系列问题，例如颗粒问题等，进一步保证晶圆的刻蚀效果。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目267次，财产线索方面有商标信息33条，专利信息500条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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