国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体结构制备方法及半导体结构”的专利,公开号CN121985805A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本公开涉及一种半导体结构制备方法及半导体结构,涉及集成电路技术领域,包括:提供顶面覆盖有第一叠层的衬底;形成贯穿第一叠层的至少一通孔后,于通孔内形成顶面低于介电叠层顶面的第一导电结构,横向刻蚀并去除部分介电叠层,得到暴露出第一导电结构全部顶面的凹槽;去除第一牺牲层后,形成至少覆盖凹槽侧壁的第二阻挡层;于凹槽内填满第二牺牲层后,形成覆盖第二牺牲层的第二叠层;形成贯穿第二叠层且下窄上宽的T型槽;去除第二牺牲层后,得到目标沟槽;形成覆盖目标沟槽内表面的第三阻挡层后,于目标沟槽内形成目标导电结构。至少能够防止产生因金属原子迁移而导致的电性失效问题。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目641次,财产线索方面有商标信息52条,专利信息1621条,此外企业还拥有行政许可26个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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