上海
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种可提升晶圆干燥效能的液体张力控制方法”，专利申请号为CN202211096522.7，授权日为2026年5月5日。
专利摘要：本发明涉及到一种可提升晶圆干燥效能的液体张力控制方法，包括：第一步，晶圆盒连接摆荡机构放入干燥槽体内，晶圆盒装载晶圆片，干燥槽体与上盖圆顶合并保持密合度，微量气体抽空；第二步，自上盖圆顶注入常温氮气，在干燥槽体内注入超纯水进行晶圆的表面润湿；第三步，晶圆片表面浸润完成，进行如下操作：S1：利用专用的集成模组向干燥槽体内注入异丙醇和加热氮气混合物，同时将超纯水从干燥槽体底部控速排放；S2：超纯水排放过程中操作摆荡机构携带晶圆片形成行星式摆荡，使晶圆片上的水分子加快脱离；第四步，重复完成晶圆干燥。本发明通过行星式弧形摆荡干燥技术使晶圆表面的残余水分加速带离，通过有效控制液体张力实现晶圆快速干燥。
今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期减少了50%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了3.34亿元，同比增24.93%。
通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目77次；财产线索方面有商标信息105条，专利信息337条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可54个。
数据来源：天眼查APP
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