北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶圆传输装置、方法及半导体腔室和设备”的专利，公开号CN121969091A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体技术领域，公开了一种晶圆传输装置、方法及半导体腔室和设备，晶圆传输装置包括：机械手，具有承载面，且所述机械手具有避让孔，所述承载面用于承载晶圆；活动杆，可穿过所述避让孔沿第一方向可升降地与所述机械手连接，所述第一方向为垂直于所述承载面的方向；驱动器，与所述活动杆连接，用于驱动所述活动杆进行升降和旋转，以使所述活动杆上升至与晶圆接触后带动所述晶圆进行升降或旋转；位置检测传感器，设置于所述机械手上，用于感测所述晶圆，以及在所述活动杆带动所述晶圆旋转时对所述晶圆的边缘进行扫描，以确定所述晶圆的位置。本申请提高晶圆的传输效率。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1411次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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