北京
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国家知识产权局信息显示，博飞特精密股份有限公司取得一项名为“化学机械研磨头改良结构”的专利，授权公告号CN224182794U，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，一种化学机械研磨头改良结构，主要包括：一气体分流座其上具有气体流道；一平衡环架与气体分流座组成气密腔体；一弹性膜片设在平衡环架的侧围上弹性传递压力。一膜固定环位于所述平衡环架下方，表面具同心圆配置的多道凹槽，每道凹槽上间隔设有吸盘状凹槽，构成环状珠链式吸附结构，支援吸气吸附与正压释放功能，并可分区独立调压。其中所述平衡环架为具中轴的圆盘，底部设有三角锥状加强壁；而研磨头的载具可采用铝合金或不锈钢材料，并透过镂空设计与加强结构取得重量平衡，达到兼具强度与轻量化适合先进CMP工艺的实用结构。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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