中科仪北交所上市：真空技术筑壁垒赋能国产半导体核心部件突围

2026年4月29日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称“中科仪”）正式在北京证券交易所挂牌上市。

据披露，中科仪是国内领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。其产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体领域的干式真空泵，以及服务国家重大科技基础设施与前沿科研的真空科学仪器设备。

在资本市场对企业成长性与基本面高度关注的当下，中科仪从技术积累、客户布局到产业逻辑的深层脉络，恰恰彰显了其以长期主义深耕硬核科技的稳健底色。公司营业收入由2023年的85,178.72万元增至2025年的129,120.84万元，复合增长率为23.12%；归属于母公司所有者的扣除非经常性损益后的净利润由2023年的7,298.08万元增至2025年的10,297.96万元，复合增长率为18.79%。主业增长态势稳健，业绩高增的背后是技术实力与市场需求的双向契合。

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深度绑定优质客户，多元布局筑牢增长基本盘

中科仪与头部客户的长期稳定战略合作，本质是产品竞争力的直接证明。自2017年以来，公司持续通过新品开发、质量升级与成本优化，实现产销量规模与客户覆盖范围的双提升。截至目前，公司集成电路领域企业客户已超100家，覆盖国内主流晶圆厂与头部集成电路设备制造企业，旗下干式真空泵产品更通过台积电、大连英特尔、SK海力士等国际头部客户的测试验证并实现小批量出货。

这种合作并非依赖短期关系，而是建立在技术实力与产品可靠性基础上的双向认可。深度绑定不仅为公司提供了稳定的营收基本盘，更通过长期合作持续打磨技术、优化产品，形成“技术升级—客户认可—迭代创新”的正向循环。

在市场拓展层面，公司一方面不断挖掘存量客户的新增需求，在自身产品具有优秀技术能力的基础上，通过具有市场竞争力的产品价格、高效优质的服务等手段，增加公司不同系列的干式真空泵产品在存量客户覆盖的工艺类型，提升产品出货量。另一方面，公司不断加大新客户的开发力度，同时得益于公司产品在主要下游领域头部客户均得到应用，从而形成了良好的品牌效应，有力地支持了公司获取新客户，报告期内公司陆续开发上海鼎泰匠芯科技有限公司等客户，推动了收入的快速增长。

技术壁垒筑高墙，国家级平台支撑国产替代

作为中国科学院下属深耕洁净真空与超高真空技术的核心企业，中科仪前身自1958年便扎根真空技术研究，历经半个多世纪沉淀，如今已成为我国真空技术与高端真空仪器领域的攻坚主力军。公司坐拥真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台，报告期各期（2023年-2025年），公司核心技术产品收入分别为75,338.74万元、95,833.16万元、107,261.95万元，占营业收入比例分别为88.45%、88.55%、83.07%。公司核心技术产业化能力较强。

此外，公司通过多年的研发积累和工艺创新，自主研发形成了8大核心技术，截至2025年12月31日，公司已经获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，并取得软件著作权登记37项，技术创新成果丰硕。

在集成电路领域，中科仪已打造出多项“国产唯一”的核心优势。公司是国内出货量领先的国产干式真空泵厂商，截至2025年，各类干式真空泵累计出货量已超4万台，其中集成电路领域出货量突破3万台。据市场测算，2024年公司干式真空泵在国内集成电路领域市占率约12.72%，成功打破欧美及日本企业在该市场的长期垄断格局。

同时，中科仪也是唯一实现集成电路先进制程批量应用的国产厂商，产品可支撑14nm先进逻辑芯片及128层及以上3DNAND等高端存储器工艺需求；更是唯一在清洁、中等、苛刻全工艺场景实现批量应用的国产企业，有力保障了我国集成电路制造设备核心零部件的自主可控与产业链供应链安全。

其核心产品拥有极高的技术壁垒，超高真空设备的极限真空度、稳定性等关键指标已达国际先进水平，部分产品成功打破海外垄断。这种技术实力支撑产品向半导体、光伏、锂电、制药等多个高景气领域广泛渗透：从科研院所的基础研究场景，到半导体产线的量产核心环节，再到新能源与高端制造领域的工艺升级，中科仪的产品正深度融入各产业链核心环节。

下游蓝海广阔，长期主义锚定硬核增长

下游应用的广泛性，既让中科仪具备更强的抗周期能力，也打开了长期成长的天花板。当前国内高端装备自主化需求持续提升，半导体、光伏、锂电等下游行业迎来扩产浪潮，干式真空泵作为核心工艺设备，市场需求持续旺盛。

从产业逻辑来看，中科仪的增长并非短期市场红利驱动，而是建立在“技术为根、客户为基”的长期主义基础之上。公司将研发投入转化为技术成果，将技术成果转化为产品竞争力，再将产品竞争力转化为市场份额，形成了闭环式的增长体系。

随着公司正式登陆北交所，资本市场的赋能将为公司带来更多发展机遇，助力公司在研发创新、产能扩张、市场拓展等方面持续发力，进一步提升核心竞争力。在资本市场普遍追逐“快增长”的当下，中科仪选择以长期主义锚定技术深耕，在高端科研仪器领域走出了一条扎实的国产替代之路。