国家知识产权局信息显示,上海沃洛克斯科技有限公司申请一项名为“一种用于半导体行业的天车轨道检测装置及方法”的专利,公开号CN121929614A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本申请涉及一种用于半导体行业的天车轨道检测装置及方法,其中用于半导体行业的天车轨道检测装置,包括天车主体,以及连接在所述天车主体上的检测模块、供电与交互一体机及通信模块;所述检测模块包括:工业相机组件、九轴角度仪、激光位移传感器、红外温度传感器以及对射光纤传感器;所述供电与交互一体机用于为所述检测模块供电,并采集、处理所述检测模块输出的数据;所述通信模块用于将处理后的数据传输至远端服务器,远端服务器用于监测天车主体的运行状况及检测模块各元件反馈的数据,并将分析结果传输至维护中心。本申请能够精准匹配半导体行业对晶圆传输设备高稳定性、高精密性的严苛要求,解决现有传统人工检测模式存在的技术问题。
天眼查资料显示,上海沃洛克斯科技有限公司,成立于2024年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本333.3333万人民币。通过天眼查大数据分析,上海沃洛克斯科技有限公司。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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