北京
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“保温桶以及半导体热处理设备”的专利，公开号CN121916656A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明提供一种保温桶以及半导体热处理设备。其中，保温桶包括：保温组件，具有多个间隔设置的第一保温件，且所有第一保温件之间的间隙至少在垂直于保温桶轴线的方向上的大小可调节，所有第一保温件之间通过调节垂直于保温桶轴线的方向上的间隙大小改变垂直于保温桶轴线的方向上的疏密分布程度，以通过第一保温件的疏密分布程度以调节该区域对应位置处的热容大小，以能够调节对应区域的保温能力，从而调节反应腔室内在垂直于保温桶轴线的方向上的温场分布情况，进而可以调整反应腔室中的晶圆表面成膜的均匀性。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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