国家知识产权局信息显示,英诺赛科(苏州)半导体有限公司申请一项名为“半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN121924785A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体器件技术领域,公开了一种半导体器件及其制造方法。半导体器件包括:衬底;沟道层,位于衬底上;势垒层,位于沟道层远离衬底的一侧;钝化层,位于势垒层远离衬底的一侧;接触沟槽,贯穿钝化层以及势垒层,并从钝化层向衬底方向至少延伸至沟道层内;欧姆接触电极,位于接触沟槽,欧姆接触电极为源极电极或漏极电极,其中,欧姆接触电极包括在远离衬底方向上排列的钛层、第一氮化钛层、掺杂硅的铝层,在接触沟槽内,掺杂硅的铝层的至少部分外周由第一氮化钛层包裹。根据本申请实施例的半导体器件,能够降低欧姆接触电极的接触电阻。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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