北京
国家知识产权局信息显示，东莞泽攸科技有限公司申请一项名为“偏转线圈的控制方法、电子束曝光机、介质及产品”的专利，公开号CN121918360A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本申请公开了一种偏转线圈的控制方法、电子束曝光机、介质及产品，应用于电子束曝光技术领域。方法应用于包括第一数模转换器、第二数模转换器和偏转线圈的电子束曝光机，第一数模转换器的转换速率低于第二数模转换器，第一数模转换器的转换精度高于第二数模转换器，方法包括：获取预设写场的各个子写场的基准坐标和各个待曝光坐标；通过第一数模转换器调整偏转线圈的偏转参数，以使得偏转后的电子束对准各个子写场中的任一目标写场的基准坐标对应的基准点；在电子束对准基准点后，通过第二数模转换器控制偏转线圈偏转电子束，以使得偏转后的电子束对目标写场的各个待曝光坐标对应的待曝光点进行曝光。能够兼顾曝光精度和速率，提升整体曝光效率。
天眼查资料显示，东莞泽攸科技有限公司，成立于2022年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本307.2798万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞泽攸科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目13次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息23条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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