北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“射频电流传输结构、半导体工艺设备、射频电流的检测方法及机台的检测方法”的专利，公开号CN121922549A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种射频电流传输结构、半导体工艺设备、射频电流的检测方法及机台的检测方法，涉及半导体领域。一种射频电流传输结构，应用于半导体工艺设备，所述射频电流传输结构包括：由内至外依次设置的馈入件、介质层、第一回流层、磁性材料层和第二回流层；所述馈入件的一端用于接收射频电流，所述馈入件的另一端用于连接至射频接收件，所述第一回流层和所述第二回流层各自的一端分别用于连接至接地件，所述射频接收件与所述接地件连接，所述第一回流层和所述第二回流层各自的另一端分别用于引出射频电流，且所述第一回流层中的电流大于所述第二回流层中的电流。本申请能够解决当前射频能量传输回路调整繁琐、调整补偿效果不佳等问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1407次，财产线索方面有商标信息72条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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