国家知识产权局信息显示,昆山法密尔精密机械有限公司取得一项名为“半导体晶圆真空吸附板”的专利,授权公告号CN224124533U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型公开了半导体晶圆真空吸附板,涉及半导体晶圆技术领域,包括外壳,外壳的内部设置有可以对晶圆进行清洁的清洁机构,所述清洁机构包括与外壳的内侧固定连接的固定板,所述固定板的上表面固定连接有第一抽泵,所述第一抽泵的进口固定连通有第一连接管,所述第一连接管的进口固定连通有储液箱,所述第一抽泵的出口固定连通有喷液管。本申请真空吸附板通过清洁机构、固定板、第一抽泵、第一连接管、储液箱、进液管、喷液管、第二抽泵、第二连接管和储气箱的配合使用,晶圆在被加工好后,晶圆上会残留切割的碎屑,通过清洁机构可以对晶圆表面的碎屑进行清理,有利于提高晶圆的使用效果,实现对晶圆的清洁。
天眼查资料显示,昆山法密尔精密机械有限公司,成立于2016年,位于苏州市,是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本800万人民币。通过天眼查大数据分析,昆山法密尔精密机械有限公司参与招投标项目1次,专利信息43条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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