北京
国家知识产权局信息显示，有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料（山东）有限公司申请一项名为“用于静电卡盘翻新的装置及翻新方法”的专利，公开号CN121820256A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种用于静电卡盘翻新的装置及翻新方法，用于静电卡盘翻新的装置包括真空腔体、工件台以及集成有紫外激光器、红外激光器和二向色镜的激光发生与合束机构。二向色镜将两束激光合束至同一光路，精准指向静电卡盘，翻新时，中央处理器控制紫外与红外脉冲激光以极短间隔交替作用于清洗区域，实时监控机构反馈清洗状态，实现闭环控制。本发明通过非接触式加工，能量精确作用于薄膜层，紫外光先破坏硬质薄膜化学键，红外光随即利用热效应将其剥离，从根本上避免了机械磨抛导致的基体磨损、厚度减薄问题，同时无需强酸强碱，彻底消除了化学腐蚀造成的基体微观损伤与缺陷。
天眼查资料显示，有研亿金新材料有限公司，成立于2000年，位于北京市，是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本89681.828044万人民币。通过天眼查大数据分析，有研亿金新材料有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目169次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息317条，此外企业还拥有行政许可53个。
有研亿金新材料（山东）有限公司，成立于2021年，位于德州市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，有研亿金新材料（山东）有限公司参与招投标项目111次，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可27个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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