国家知识产权局信息显示,杭州朗迅科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆转运盒储存设备”的专利,授权公告号CN224111601U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种晶圆转运盒储存设备,涉及半导体生产设备技术领域,包括箱体,箱体包括至少两个相对独立的密封仓和氮气系统,密封仓内设有至少一个氮气供气孔和湿度传感器,氮气系统根据湿度传感器控制密封仓的氮气供气管路的开启或关闭,密封仓设有独立开启的密闭门,密封仓内还设有至少一个工装板,工装板用于承载晶圆转运盒,工装板上设有在位传感器;箱体的背面还设有走线槽,走线槽连接至少两个密封仓,气体管路和控制线路通过走线槽连接至氮气系统。氮气系统可以独立控制每个密封仓的湿度,在针对一个密封仓取放晶圆周转盒时不会影响到其他密封仓内的湿度。
天眼查资料显示,杭州朗迅科技股份有限公司,成立于2010年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4292.156万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州朗迅科技股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目218次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息103条,此外企业还拥有行政许可120个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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