国家知识产权局信息显示,南京先进激光技术研究院;南京中科神光科技有限公司申请一项名为“用于椭偏仪的多波长半导体光源装置、控制方法及椭偏仪”的专利,公开号CN121830484A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于椭偏仪的多波长半导体光源装置、控制方法及椭偏仪,所述装置包括:光源模块,具有多个平行安装的不同波长半导体发光单元及聚焦耦合单元,用于产生多波长光束;光纤传输模块,将光束传输至出射端;分束元件,将出射光分为进入椭偏仪的主光路和进入光强监测模块的监测光路;光强监测模块,探测光强并反馈至光功率闭环控制模块,以调整光源输出功率;还包括温度闭环控制模块和热电制冷器,用于稳定驱动电路板温度;本发明通过光强和温度双闭环控制,实现了多波长光束的高效耦合、稳定输出和快速切换,为椭偏仪提供了高稳定性、紧凑型的多波长光源解决方案,显著提升了测量精度和可靠性。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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