一、先记住:真空法兰就看 3 大类
真空腔体配馈通,90% 场景只用到 KF、CF、ISO 三种,它们决定真空度、拆装速度、能焊几个馈通、耐不耐高温。
二、三大法兰核心区别(一眼看懂)
1. KF 法兰(快拆型,小口径首选)
- 别名:NW、QF、ISO-KF
- 密封:橡胶 O 型圈密封
- 尺寸:KF16、KF25、KF40、KF50(≤50mm)
- 真空等级:高真空(≤1×10⁻⁶ mbar)
- 安装:卡箍快装,几秒拆装
- 温度:≤150℃,不能高温烘烤
- 适用:实验室、快速维护、小腔体、普通高真空
- 搭配馈通:Sub-D、BNC、MHV、SMA、小功率馈通
✅ 优点:便宜、快拆、通用性最强❌ 缺点:不能超高真空、不能高温、尺寸小
2. CF 法兰(超高真空 / 金属密封,最高端)
- 密封:无氧铜垫片金属密封(刀口密封)
- 尺寸:CF16、CF35、CF40、CF63、CF100、CF160
- 真空等级:超高真空 UHV(≤1×10⁻¹⁰ mbar)
- 安装:螺栓紧固,密封性极强
- 温度:可高温烘烤(200℃+)
- 适用:半导体、镀膜、粒子设备、超高真空系统
- 搭配馈通:所有型号馈通都能焊,尤其高压、大功率、高精度
✅ 优点:真空最高、耐高温、不漏气、最稳定❌ 缺点:贵、拆装慢、铜垫片一次性
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3. ISO 法兰(大口径型,大腔体专用)
- 别名:ISO-K、ISO-F
- 密封:橡胶 O 型圈密封
- 尺寸:ISO63、ISO100、ISO160、ISO200(≥63mm)
- 真空等级:高真空(≤1×10⁻⁶ mbar)
- 安装:卡爪 / 螺栓紧固,适合大口径
- 适用:大型真空腔、多通道、大设备
- 搭配馈通:可同时焊接多个馈通,高密度布局
✅ 优点:口径大、能装很多馈通、结构稳❌ 缺点:不超高真空、不可高温烘烤
三、按你的需求直接选(最简口诀)
1. 看真空度
- 只要普通高真空 →KF
- 要超高真空 / 烘烤除气 →CF
- 大腔体高真空 →ISO
2. 看口径大小
- 管径 ≤50mm →KF
- 管径 63~200mm →ISO
- 超高真空不管大小 →CF
3. 看使用场景
- 实验室、经常拆 →KF
- 工业设备、长期不漏气 →CF
- 大腔体、多路馈通 →ISO
4. 看温度
- 常温使用 → KF / ISO
- 200℃以上高温烘烤
- → 只能CF
四、搭配麦迪森馈通怎么选(最实用)
1. 小信号馈通(Sub-D、BNC、SMA、MHV)
- 小腔体、快速拆装 →KF40 / KF50
- 超高真空、高精度 →CF40 / CF63
2. 高压 / 大功率馈通(SHV、高压功率)
- 优先CF 法兰(密封稳、不漏气、更安全)
- 大电流多针 →CF63 / CF100
3. 多路馈通并排
- 必须大法兰 →ISO63 / ISO100 或 CF100
五、选型避坑 4 条红线
- 超高真空一定用 CF
- ,KF/ISO 永远达不到
- 高温烘烤一定用 CF
- ,橡胶圈会老化放气
- KF 最大只到KF50,再大必须换 ISO
- CF 铜垫片只能用一次,拆装必须换新
六、一句话总结
- 小口径、快拆、常温 →KF
- 超高真空、耐高温、最稳 →CF
- 大口径、多馈通、大腔体 →ISO
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