真空馈通法兰选型指南｜KF、CF、ISO 怎么选不踩坑

一、先记住：真空法兰就看 3 大类

真空腔体配馈通，90% 场景只用到 KF、CF、ISO 三种，它们决定真空度、拆装速度、能焊几个馈通、耐不耐高温。

二、三大法兰核心区别（一眼看懂）

1. KF 法兰（快拆型，小口径首选）

• 别名：NW、QF、ISO-KF
• 密封：橡胶 O 型圈密封
• 尺寸：KF16、KF25、KF40、KF50（≤50mm）
• 真空等级：高真空（≤1×10⁻⁶ mbar）
• 安装：卡箍快装，几秒拆装
• 温度：≤150℃，不能高温烘烤
• 适用：实验室、快速维护、小腔体、普通高真空
• 搭配馈通：Sub-D、BNC、MHV、SMA、小功率馈通

✅ 优点：便宜、快拆、通用性最强❌ 缺点：不能超高真空、不能高温、尺寸小

2. CF 法兰（超高真空 / 金属密封，最高端）

• 密封：无氧铜垫片金属密封（刀口密封）
• 尺寸：CF16、CF35、CF40、CF63、CF100、CF160
• 真空等级：超高真空 UHV（≤1×10⁻¹⁰ mbar）
• 安装：螺栓紧固，密封性极强
• 温度：可高温烘烤（200℃+）
• 适用：半导体、镀膜、粒子设备、超高真空系统
• 搭配馈通：所有型号馈通都能焊，尤其高压、大功率、高精度

✅ 优点：真空最高、耐高温、不漏气、最稳定❌ 缺点：贵、拆装慢、铜垫片一次性

3. ISO 法兰（大口径型，大腔体专用）

• 别名：ISO-K、ISO-F
• 密封：橡胶 O 型圈密封
• 尺寸：ISO63、ISO100、ISO160、ISO200（≥63mm）
• 真空等级：高真空（≤1×10⁻⁶ mbar）
• 安装：卡爪 / 螺栓紧固，适合大口径
• 适用：大型真空腔、多通道、大设备
• 搭配馈通：可同时焊接多个馈通，高密度布局

✅ 优点：口径大、能装很多馈通、结构稳❌ 缺点：不超高真空、不可高温烘烤

三、按你的需求直接选（最简口诀）

1. 看真空度

• 只要普通高真空 →KF
• 要超高真空 / 烘烤除气 →CF
• 大腔体高真空 →ISO

2. 看口径大小

• 管径 ≤50mm →KF
• 管径 63~200mm →ISO
• 超高真空不管大小 →CF

3. 看使用场景

• 实验室、经常拆 →KF
• 工业设备、长期不漏气 →CF
• 大腔体、多路馈通 →ISO

4. 看温度

• 常温使用 → KF / ISO
• 200℃以上高温烘烤
• → 只能CF

四、搭配麦迪森馈通怎么选（最实用）

1. 小信号馈通（Sub-D、BNC、SMA、MHV）

• 小腔体、快速拆装 →KF40 / KF50
• 超高真空、高精度 →CF40 / CF63

2. 高压 / 大功率馈通（SHV、高压功率）

• 优先CF 法兰（密封稳、不漏气、更安全）
• 大电流多针 →CF63 / CF100

3. 多路馈通并排

• 必须大法兰 →ISO63 / ISO100 或 CF100

五、选型避坑 4 条红线

1. 超高真空一定用 CF
2. ，KF/ISO 永远达不到
3. 高温烘烤一定用 CF
4. ，橡胶圈会老化放气
5. KF 最大只到KF50，再大必须换 ISO
6. CF 铜垫片只能用一次，拆装必须换新

六、一句话总结

• 小口径、快拆、常温 →KF
• 超高真空、耐高温、最稳 →CF
• 大口径、多馈通、大腔体 →ISO