北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔体和半导体工艺设备”的专利，公开号CN121802364A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请提供了一种半导体工艺腔体和半导体工艺设备，涉及半导体制备技术领域，半导体工艺腔体包括腔体本体；内衬组件，设置在所述腔体本体内，所述内衬组件与所述腔体本体之间通过至少两个第一绝缘件连接，至少两个所述第一绝缘件沿所述腔体本体的周向分散布置。由于内衬组件与腔体本体之间通过至少两个第一绝缘件连接，第一绝缘件可以实现内衬组件与腔体本体之间的绝缘连接，使得内衬组件处于悬浮电位，这样内衬组件在承受等离子体的轰击时逐渐带电，与靶材之间的电势差减小，能够降低打火概率，从而保证工艺质量；此外，分散布置的至少两个第一绝缘件可以减少周向占用空间，同时减少绝缘材料用量，能够在减重的同时降低成本。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1401次，财产线索方面有商标信息71条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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