北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于处理衬底的基座”的专利，公开号CN121772680A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，提出一种具有ESC功能的基座。为了提供具有用于热控制和ESC能力的金属材料的加热器，本公开的基座包括配置为支撑衬底的支撑部分；设置在支撑部分中的加热线圈，加热线圈配置为加热支撑部分的温度；设置在支撑部分中用于监测支撑部分的温度的热电偶(TC)；设置在支撑部分下方的轴；设置在轴中的绝缘部分；设置在绝缘部分中的多个冷却通道；以及设置在支撑部分和绝缘部分的表面上的绝缘层，其中支撑部分由导电金属制成。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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