北京
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国家知识产权局信息显示，ISTEQ 集团控股有限公司申请一项名为“具有快速旋转靶的高亮度LPP EUV光源及其冷却方法”的专利，公开号CN121773708A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，一种激光产生的等离子体（LPP）光源包括旋转靶组件（2），旋转靶组件将靶（3）与高重复频率脉冲激光的聚焦光束一起供应到相互作用区（4）中。通过旋转靶组件的外围部分的热辐射，以及通过将气体吹送通过旋转靶组件（2）与固定热交换器（17）之间的蜿蜒状间隙（16），对光源进行高效冷却。这实现了LPP光源的高亮度和高输出功率。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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