北京
国家知识产权局信息显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司申请一项名为“实现显影液均匀分布的方法”的专利，公开号CN121763677A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本发明提供了一种实现显影液均匀分布的方法，包括：提供第一控片，第一控片上形成有正性光阻层，采用喷淋显影设备在第一控片的正性光阻层上喷淋显影液进行显影；测定喷淋显影设备的两个喷嘴的不同角度组合下，第一控片的正性光阻层显影前后的膜厚损失的标准差，并获得膜厚损失的最小标准差对应的两个喷嘴的最佳角度组合；提供第二控片，在两个喷嘴的最佳角度组合下，采用曝光显影方式在第二控片上形成若干设计尺寸相同的光阻图案，并测定若干光阻图案的尺寸的标准差；判断尺寸的标准差是否符合尺寸均匀性标准。本发明通过调整喷淋显影设备的两个喷嘴的角度，以快速实现显影液均匀分布，且调整效率和准确度高。
天眼查资料显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本190995.68万人民币。通过天眼查大数据分析，合光光掩模科技（安徽）有限公司参与招投标项目147次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息28条，此外企业还拥有行政许可19个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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