专访微导纳米黎微明：十年磨剑，以创新为“芯”立命

本文来源：时代商业研究院 作者：孙华秋

图源：图虫创意

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作者|孙华秋

编辑|韩迅

在成立十周年、登陆科创板三周年的双重里程碑节点，国内原子层沉积（ALD）设备龙头微导纳米（688147.SH）交出了一份厚积薄发的答卷。2025年，该公司半导体设备业务收入达8.81亿元，同比激增169.12%，收入占比从2024年的12.14%跃升至33.5%——这组亮眼数据，正式宣告微导纳米的半导体业务，全面迈入规模化落地的收获期。

从外界最初认知里的光伏设备制造企业，到如今跻身半导体高端装备国产化的核心力量，微导纳米这条跨越十年的进阶之路，背后是日复一日的技术深耕，与从未动摇的“生而为芯”的初心。

3月26日的上海，SEMICON China 2026展会现场人声鼎沸，全球半导体产业的前沿技术与产业力量在此汇聚。在展会现场，时代商业研究院独家专访了微导纳米副董事长、首席技术官黎微明。这位深耕ALD技术领域三十余年、一手搭建起微导纳米核心技术体系的技术掌舵人，在专访中不仅深度拆解了公司半导体业务高增长的底层逻辑，更回溯了企业扎根ALD技术的初心，描绘以技术创新驱动全球化发展的未来蓝图，为我们具象诠释了国产半导体装备企业在国产化浪潮中的坚守与破局之道。

初心归位：生而为“芯”

时代商业研究院：外界对微导纳米的认知，大多始于光伏ALD设备龙头的身份，但你多次提到，微导纳米从成立之初，本质就是一家半导体设备公司。这个与外界认知有反差的定位，背后有着怎样的初心与考量？

黎微明：微导纳米的名字里，本身就刻着“微纳制造”的核心基因。2015年公司成立之初，我们的目标就无比清晰：要做中国人自己的半导体高端装备。但2015年的国内产业环境，不支持我们直接切入半导体赛道——海外巨头筑起了极高的技术壁垒与专利护城河，国内半导体产业链尚在萌芽阶段，核心技术积累、专业人才储备都存在肉眼可见的差距。

面对这样的现实，我们选择了一条“以光伏养技术，以技术备半导体”的道路：先在光伏领域实现ALD技术的产业化落地与规模化验证。这从来不是换赛道，而是找一片更适合的土壤，打磨核心技术、锤炼产业化团队，让微纳制造的底层能力，在真实的量产场景中反复迭代、不断完善。所幸，随着国际产业环境变化，国内半导体国产化浪潮全面起势，我们终于等到了切入半导体赛道的最佳窗口期。而能抓住这个机会，靠的是公司成立以来数年如一日的技术深耕，绝不是临时起意的跨界转型。

时代商业研究院：这份跨越近十年的技术沉淀，最终转化成了哪些看得见的市场成果与行业突破？

黎微明：厚积薄发的结果，就是我们半导体业务的营收连续多年保持100%以上的同比高增速，在我看来，这是一件水到渠成的事。2020年，我们拿到了第一个半导体领域的正式订单；2021年，我们成为了国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司，实现了国内ALD设备国产化核心技术“零的突破”，这也是国内半导体薄膜沉积设备领域的一个重要里程碑。

从行业大盘来看，目前ALD设备在全球半导体薄膜沉积设备的占比为11%～13%，但其国产化率较低，这背后是极其广阔的国产化空间。而微导纳米作为国内第一批实现ALD技术国产化突破的企业，凭借近十年的底层技术沉淀，已经稳稳站在了自主可控的第一梯队，未来的成长空间，自然不言而喻。

技术扎根，成长破土

时代商业研究院：微导纳米的半导体业务能在短短数年内从培育期快速迈入收获期，最核心的支撑是什么？在你看来，技术和市场，哪个才是企业发展的根本？

黎微明：答案一定是技术。半导体装备行业，是真刀真枪拼硬实力、拼底层技术的领域，没有拿得出手的核心技术，哪怕销售能力再强，也终究是空中楼阁。客户最终买单的，永远是能稳定量产、匹配工艺要求、真正解决生产痛点的设备，这是所有市场拓展的前提，也是我们安身立命的根本。

去年我们在资本市场完成11亿元融资，其中约50%用于半导体装备的产能扩建，另外50%全部投入半导体技术的研发迭代，这样的布局，核心就是为了持续筑牢我们的技术壁垒。如今我们已经搭建起平台化的产品矩阵，除了核心的ALD技术，还成功拓展至PECVD技术领域，且两大方向均锚定行业先进技术路线，完成了从单一设备供应商向为客户提供全流程薄膜沉积解决方案的综合服务商的转型——这也是我们能快速获得头部客户认可的核心关键。

时代商业研究院：当前国内半导体设备国产化才刚刚起步，但行业内已经出现了明显的内卷现象，你如何看待这一行业现状？企业又该如何破局？

黎微明：这其实是我一直以来深感担忧的问题。国内半导体装备的国产化之路才刚刚启程，大量核心技术还未实现真正的突破，这个阶段出现的无序内卷，本质上是行业资源的极大浪费。尤其是部分资金的盲目涌入，很容易造成低端产能的无序扩张，反而会拖慢整个行业的长期发展进程，这也是我多次在行业公开场合呼吁大家理性投资、聚焦核心技术突破的原因。

当下有不少声音认为，国产半导体设备的核心竞争力就是价格优势，对此，我只部分认同。中国半导体装备行业从起步到现在不过十余年，能实现如今的技术突破，背后是全行业企业共同努力的结果。要保障技术的持续迭代、持续追赶甚至超越国际水平，就绝不能把低价当做核心竞争手段。我们依托国内完整的产业链，确实有一定的成本优势，也会尽全力通过技术优化、工艺升级来降低产品成本，但同时也希望市场能给国产设备更多的包容与空间，让企业的研发投入能得到合理覆盖，最终形成“研发投入—技术突破—市场认可—持续加码研发”的良性循环。

当然，国产设备也有自己不可替代的核心优势——中国装备企业的售后服务响应能力与定制化能力，是世界一流的。我们愿意投入更多的资源与成本做好售后，陪伴客户一起完成工艺调试、产线适配，帮助客户在最短时间内实现量产化，这也是我们能快速贴近客户需求、实现技术快速落地迭代的重要原因。

时代商业研究院：在你看来，微导纳米能始终保持技术领先、实现业绩持续高速增长的核心竞争力，到底是什么？

黎微明：微导纳米的核心竞争力，归根结底有两点：一是稳定的核心人才团队，以及完善的人才梯队培养体系；二是能让人才充分释放价值、敢闯敢试的创新土壤。

作为一家技术驱动的企业，人才是我们最核心、最宝贵的资产。我自己深耕ALD领域三十余年，太清楚半导体装备的研发，需要长期的技术积累、工艺沉淀与团队磨合，绝不可能靠少数几个人就实现跨越式突破。所以，微导纳米从成立第一天起，就把人才梯队建设放在首位，一步步培养出了一支既懂底层技术、又懂量产工艺、更懂客户真实需求的核心团队，这是我们能持续实现技术突破、不断推出核心产品的根基。

而有了人才，更重要的是给他们足够的创新空间与试错底气。我们从来不鼓励团队简单复制国外的成熟技术，而是要求大家既要对标国际最先进水平，更要敢于思考如何实现超越。现在我们的很多工艺，客户还是会以海外头部产品为参考标杆，但我们的终极目标，是通过完全的自主创新，做出比海外产品更优秀、更适配国内产线需求的设备——这也是我们能始终保持技术领先、持续获得市场认可的核心密码。

以创新为核心驱动未来发展

时代商业研究院：目前微导纳米的半导体业务，已经涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、先进封装四大核心领域。当前AI算力已成为拉动半导体行业增长的核心引擎，公司在这一产业大趋势下，做了哪些针对性的布局？

黎微明：AI对算力的极致需求，毫无疑问会成为未来数年甚至更长周期里，推动整个半导体行业迭代升级的核心动力，这是全行业的共识。而微导纳米在半导体设备赛道的布局，已经完成了多领域、多场景的覆盖——无论是逻辑、存储、化合物半导体，还是先进封装、光电、OLED，只要是晶圆制造相关环节，我们的核心薄膜沉积技术都能实现精准适配、深度赋能。

这一全场景布局的背后，是我们对半导体产业底层逻辑的深刻理解：薄膜沉积是半导体制造前道生产线三大核心工艺之一，无论是AI芯片所需的制程、HBM高带宽内存配套的先进封装工艺，还是高容量存储芯片、第三代化合物半导体的量产制造，都离不开ALD、PECVD等核心薄膜沉积技术的底层支撑。因此，无论行业热点如何轮动，只要半导体制造的产业基本盘在持续发展，微导纳米就拥有稳定、可持续的增长空间。

时代商业研究院：面向下一阶段，公司锁定的核心增长极是什么？

黎微明：在半导体领域，我们会重点聚焦先进封装赛道。随着半导体制程工艺逐步逼近物理极限，先进封装已经成为突破芯片性能瓶颈、适配AI算力需求的核心路径，国内先进封装市场的发展速度远超行业预期，这对我们来说是确定性极强的巨大机遇。目前我们正深度结合行业需求，在先进封装领域布局新材料、新工艺的底层创新，哪怕是针对海外已经成熟的先进封装技术，我们也有自己的优化与升级思路，这一赛道会成为公司半导体业务未来最核心的增长引擎。

时代商业研究院：微导纳米正在建设的半导体薄膜沉积设备工厂，未来将逐步释放产能，这一战略布局将为公司发展带来哪些核心助力？

黎微明：扩产是微导纳米应对半导体业务爆发式增长、筑牢长期核心竞争力的关键战略布局。在新扩产车间正式投产后，将从生产制造、质量管理、成本控制等多个维度，实现公司全链条能力的全面升级：一方面，未来产出的设备在稳定性、可靠性、一致性上会有质的提升，能更好地匹配头部客户大规模量产的核心需求；另一方面，我们会把AI技术深度赋能到设备研发与生产全流程中，不仅优化自身生产效率，更能帮助客户实现更稳定、更高效的智能化生产。

尽管目前工厂建设面临不小的成本投入，但我对它落地后的价值充满信心——它不仅能彻底解决公司当前的产能瓶颈，更能推动公司的产品力、品牌力实现一次全面跃升，为我们的双轮驱动布局筑牢最坚实的产能根基。

出海：稳者善行，行者致远

时代商业研究院：在加速推进国产化的同时，出海布局已成为国内半导体设备企业的必答题，微导纳米在全球化布局上有哪些具体规划与落地进展？

黎微明：目前微导纳米的部分产品已经实现了小批量出海，已有设备正式销往欧洲市场。尽管当前规模不大，但这是一个关键里程碑——它意味着我们的技术与产品性能，正式得到了国际成熟市场的认可。未来几年，先进设备的全球化布局，会成为公司的核心工作之一。

我们的出海思路从一开始就非常清晰：绝不靠低价内卷打开市场，而是以技术创新和产品硬性能取胜。目前我们的核心产品，已经在国内多家头部Fab厂完成了全流程量产验证，进入成熟稳定的产品化阶段，核心技术指标全面对标国际最先进水平，甚至在部分细分场景的性能上实现了创新突破。我们走的从来不是简单复刻海外成熟技术的路径，而是深度结合客户量产需求做定制化的性能优化与底层创新，这也是我们敢于进军国际市场、直面海外巨头竞争的核心底气。

关于出海的区域布局，我们认为，东南亚市场对国产设备的接受度与友好度相对更高，但这个市场很多核心产能、技术决策中心依然集中在欧美地区。因此我们的长期目标，始终是打开国际视野，除了持续深耕本土业务，更是要逐步切入欧美核心半导体制造市场，进入全球最顶尖的产业链体系。我始终相信，只要产品性能足够过硬、有充分的大规模量产验证经验，就一定能突破各类贸易与技术壁垒，真正打开全球市场。

时代商业研究院：作为国内半导体ALD设备国产化的核心引领者，微导纳米对自身的行业定位是什么？未来希望能为中国半导体产业的发展，创造怎样的核心价值？

黎微明：微导纳米十年的发展，始终围绕“创新”二字。我们给自己的定位，从来不止是一家实现半导体装备国产化的企业，更希望以底层技术创新，推动整个微纳制造行业的技术进步与产业升级。

在半导体领域，我们实现了国产ALD设备在多个领域从0到1的突破，为国产半导体装备的发展筑牢了一块重要的基石。未来，我们希望继续以技术创新为核心，推动行业的技术升级，甚至在部分细分领域实现全球领先。

微导纳米的十年，是技术沉淀的十年，也是坚守初心的十年。未来，我们仍会以技术创新为核心锚点，继续夯实半导体装备国产化的核心能力，向产业链中更多关键环节的核心技术发起攻坚。同时以技术创新推动产品出海，努力成为全球领先的微纳制造设备供应商，为中国高端装备制造业的发展贡献一份力量。

结语：香自苦寒，功在久远

专访落幕，与黎微明博士的一席对话，余味悠长，感触良多。

十年磨一剑，砺得梅花香。从成立之初便怀揣“生而为芯、以微纳制造立命”的初心，到蛰伏光伏赛道完成核心技术沉淀、产业化能力锤炼与人才团队搭建，再到半导体业务迎来爆发式增长、成长为国产ALD设备领域的标杆企业，微导纳米走过的这十年，既是中国半导体高端装备国产化进程中从追赶到突破的生动缩影，更是一家技术驱动型企业以长期主义坚守底层创新、终得厚积薄发的最佳注脚。

这缕历经十年苦寒磨砺出的梅香，从来不是昙花一现的盛放，而是醇厚绵长、后劲十足。它藏在每一次技术攻坚的坚守里，藏在以“创新”为核心的长远布局里，更藏在中国高端装备企业走向全球的底气里，向着产业的更远方，持续散发着属于中国创新的力量。

（全文5135字）

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