北京
国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“改善栅氧化层质量的方法”的专利，公开号CN121772306A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明提供一种改善栅氧化层质量的方法，包括：提供衬底，在所述衬底上形成栅氧化层；对所述栅氧化层表面进行离子注入，注入的离子与所述栅氧化层的材料中所包含的半导体元素一致；在惰性气体以及氧气氛围下对所述栅氧化层进行快速热处理，使得所述栅氧化层内注入的离子与氧气反应以提高所述栅氧化层的表面质量。本发明通过在栅氧化层表面进行离子注入并在惰性气体与氧气氛围下进行快速热处理，使得栅氧化层表面注入的离子与氧气反应形成更致密的表面，从而改善栅氧化层的表面质量。
天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息126条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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