国家知识产权局信息显示,厦门奥拓美科技有限公司取得一项名为“一种定位精准的晶圆上下料装置”的专利,授权公告号CN224054769U,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种定位精准的晶圆上下料装置,属于半导体设备技术领域。针对现有技术中晶圆转运速率还有待提升的问题,本实用新型的一种定位精准的晶圆上下料装置,设置了一级吸盘和二级吸盘,首先使用气缸降下一级吸盘对晶圆进行一重吸附,保证在使用较小数量吸盘的情况下吸起晶圆,使得吸取过程不会太长,吸附后,气缸带动一级吸盘复位,此时二级吸盘对所需移动的晶圆进行二重吸附,增大了吸力,保证晶圆在移动过程中不会掉落。本实用新型还设置了机械手和升降装置,使得在转运晶圆的过程中实现完全自动化,且减少了部分位移距离,使得转运更加快捷。还设置了探针,保证了二级吸盘能够吸附到晶圆。
天眼查资料显示,厦门奥拓美科技有限公司,成立于2017年,位于厦门市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,厦门奥拓美科技有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息38条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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