北京
国家知识产权局信息显示，昂士特科技（深圳）有限公司申请一项名为“化学机械抛光平台及其控制系统”的专利，公开号CN121733430A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及控制系统数据处理技术领域，尤其涉及化学机械抛光平台及其控制系统，包括多模态数据融合模块获取抛光过程的传感器数据，进行去噪和时空配准处理，输出融合数据流和异常工况特征向量。工艺数字孪生模块接收融合数据流，生成工艺状态概率分布图。多智能体协同决策模块基于工艺状态概率分布图和异常工况特征向量，采用多智能体强化学习架构生成控制指令序列。分布式自适应执行模块解析并执行控制指令，同时采集执行器状态数据反馈。通过传感器权重调整信号、模型修正指令和控制效果评估数据的双向交互，动态解耦抛光压力、抛光盘转速、抛光液温度、pH值及流量间的非线性耦合关系，提升晶圆表面纳米级平坦度一致性。
天眼查资料显示，昂士特科技（深圳）有限公司，成立于2019年，位于深圳市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本1465.1388万人民币。通过天眼查大数据分析，昂士特科技（深圳）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息44条，此外企业还拥有行政许可18个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
