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案例:电子级化学品生产三乙胺废气处理
项目背景
华南某电子级化学品生产企业,在生产高纯度显影液过程中使用三乙胺作为pH调节剂。由于产品纯度要求极高,废气中不得混入其他化学物质,传统吸收法可能带来二次污染,因此需要开发特殊处理方案。
废气成分与来源
废气主要来自三个洁净车间:
合成车间:连续排放,浓度300-500mg/m³,风量8000m³/h
纯化车间:间歇排放,浓度100-200mg/m³,风量5000m³/h
灌装车间:局部排风,浓度50-100mg/m³,风量3000m³/h
废气特点为浓度波动大、温度恒定(25±2℃)、相对湿度40%-60%,且要求处理过程不得引入新的污染物。
处理工艺流程
采用"冷凝回收+分子筛吸附"工艺路线:
预处理系统
:精密过滤器(0.3μm)去除颗粒物
深度冷凝单元
一级冷凝温度:-15℃,去除60%三乙胺
二级冷凝温度:-35℃,使总去除率达到85%
分子筛吸附系统
采用疏水性分子筛,吸附容量≥28%(wt)
两塔交替运行,吸附周期8小时
热氮气脱附(120℃,0.3MPa)
产品回收系统
冷凝提纯获得99.5%以上纯度的三乙胺
直接回用于生产工序
系统采用PLC全自动控制,与生产设备联锁运行,实现无人值守。
最终效果
项目验收测试结果表明:
三乙胺回收率≥90%
排放浓度≤3mg/m³
年回收三乙胺12.6吨,创造经济效益约50万元
系统运行噪音≤65dB(A)
设备占地面积仅60㎡(传统工艺需120㎡以上)
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