中微公司发布Micro LED专用MOCVD设备

在SEMICON China 2026期间，中微公司发布四款面向硅基及化合物半导体关键工艺的新产品，涵盖新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备Primo Angnova™、高选择性刻蚀机Primo Domingo™、Smart RF Match智能射频匹配器，以及面向蓝绿光Micro LED量产的MOCVD设备Preciomo Udx®。

其中，针对Micro LED量产过程中对波长均匀性与颗粒控制的要求，中微公司推出Preciomo Udx® MOCVD设备。

该设备在气体输运、加热模式及温场控制等方面进行了重新设计，相较传统垂直气流MOCVD结构，采用水平式双旋转反应室方案，并结合温场与流场仿真以及工艺优化，以改善外延生长过程中的均匀性表现。

在量产适配方面，Preciomo Udx®最多可配置两个反应腔，可同时加工18片6英寸或12片8英寸氮化镓蓝绿光Micro LED外延片。各反应腔支持独立控制，有助于提升产线灵活性。同时，设备配备EFEM与SMIF系统，实现片盒到片盒的自动化传输，在一定程度上降低外延过程中的颗粒引入风险。

资料显示，中微公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司,为集成电路和泛半导体行业提供极高端设备和服务。

2025年，公司实现营业总收入123.85亿元，同比增长36.62%；归属于上市公司股东的净利润21.11亿元，同比增长30.69%。报告期内，等离子体刻蚀设备销售额约98.32亿元，同比增长35.12%；LPCVD和ALD设备销售额约5.06亿元，同比大幅增长224.23%。

产品研发方面，公司2025年持续推进新产品开发，近两年新增十余种导体及介质薄膜设备，多款已上市并获得部分重复订单。其中，LPCVD设备累计出货超300个反应台，其他关键薄膜沉积设备研发稳步推进，EPI设备已进入客户端量产验证阶段。

此外，公司在Micro LED及其他显示领域的专用MOCVD设备研发取得进展，多款新产品进入客户端验证；新型8英寸碳化硅外延设备及红黄光LED应用设备已发运至国内客户开展验证。产能方面，南昌约14万平方米、上海临港18万平方米的生产和研发基地已投入使用。

LEDinside整理

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