国家知识产权局信息显示,扬州扬杰电子科技股份有限公司申请一项名为“一种中低压MOS器件掺杂结构的腐蚀溶液及分析方法”的专利,公开号CN121699615A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,一种中低压MOS器件掺杂结构的腐蚀溶液,涉及半导体技术领域。包括铬酸溶液、氢氟酸和硝酸;设x为氢氟酸的体积,y为铬酸溶液的体积,z为硝酸的体积,单位均为mL;其配比为x:y:z=1:1:6~1:1:10。通过铬酸与HF进一步反应生成氧化性更强的重铬酸,重铬酸直接与硅反应,对高掺杂的N型区具有较快的反应速率,导致该区域优先被腐蚀而形成凹陷;硝酸将硅表面氧化,生成一层极薄的二氧化硅膜,氢氟酸再高效地溶解由硝酸氧化生成的SiO₂薄膜,从而暴露出下方的纯净硅表面,使其能够再次被氧化,对P型区及低掺杂N型区进行循环腐蚀。在保证各掺杂区域界限清晰显现的同时,有效缩短整体腐蚀反应时间,保护精细的器件结构在过程中免遭过度破坏,大大提高了工艺分析效率。
天眼查资料显示,扬州扬杰电子科技股份有限公司,成立于2006年,位于扬州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54334.7787万人民币。通过天眼查大数据分析,扬州扬杰电子科技股份有限公司共对外投资了28家企业,参与招投标项目231次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息788条,此外企业还拥有行政许可245个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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