北京
国家知识产权局信息显示，安徽万维克林精密装备有限公司申请一项名为“一种用于检测LED加热灯盘光衰减及自补偿的控制系统”的专利，公开号CN121665409A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于检测LED加热灯盘光衰减及自补偿的控制系统，涉及半导体晶圆加热清洗领域，系统通过光谱检测单元采集LED加热灯盘的照度数据，主控制单元对比实时照度数据与目标照度数据，进而调节灯盘输入功率以实现自补偿；温度检测单元和电流检测单元分别对灯盘温度、供电回路电流进行监测，在异常时停止自补偿操作；在每次完成照度采集或功率调节后，灯盘进入零功率输入阶段进行冷却；自补偿完成后，主控制单元将适配功率值传输至设备上位机以更新工艺参数；本系统实现了LED加热灯盘光衰减的自动检测与精准补偿，无需人工干预，保障了LED加热灯盘光功率密度的稳定，降低了设备损耗，提升了晶圆清洗质量与生产效率。
天眼查资料显示，安徽万维克林精密装备有限公司，成立于2020年，位于合肥市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽万维克林精密装备有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息78条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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